판매용 중고 TEMPRESS TS81254 #9196754
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
![TEMPRESS TS81254 사진 사용됨 TEMPRESS TS81254 판매용](https://cdn.caeonline.com/images/tempress_ts81254_852666.jpg)
![Loading](/img/loader.gif)
판매
ID: 9196754
Furnace
Horizontal annealing / Oxidation furnace
SCARA Robot
Digital process controller (DPC)
Digital temperature controller (DTC)
TEMPRESS System controller (TSC-2)
(1) Advanced fans assy
(2) Excess temperature controller
(8) Tube adapters
(4) Radiation heat-shield
(4) Isolation collar
(4) Profiling thermocouple for 1250mm flatzone
(4) Tubes
(5) Heating zones
System leak integrity: 10-8 cc/s He
With full automation system
Spectre HV vapor dry etch system with full automation
2014 vintage.
TEMPRESS TS81254 (TEMPRESS TS81254) 는 TEMPRESS (TEMPRESS) 의 고급 고가용성 확산 로와 액세서리로, 까다로운 제조업체에 적합합니다. 이 설정은 산화물 알루미늄 필름, 전자 포장, 태양 전지 제조 등 많은 확산 프로세스에 적합합니다. 이 세트의 핵심은 TEMPRESS TS 81254 확산 로로, 최대 1,500 ° C (2,732 ° F) 의 공정 온도를 위해 설계되었습니다. 이 고급 시스템은 4.5 입방 피트 (0.127 미터) 챔버와 최대 작동 압력 25kPa를 제공합니다. 공랭식, 로우 프로파일 유도 난방 코일이 장착되어 있으며, 최대 40kHz의 초고주파수를 통해 정확한 레시피 제어를 보장합니다. 또한 AFF (Forward-Extraction Axial Force Fans) 를 통해 균일 한 공기 분배 보장, 산화 방지 및 후압 빌드 업으로부터 보호합니다. TS81254 액세서리에는 용광로 챔버 내부의 수분을 최소화하기 위해 챔버 내 잔류 가스를 자동으로 통풍하는 VLOV (Advanced Vacuum Lockout Valve) 가 포함됩니다. 또한 안전하고 반복 가능한 가스 흐름을 보장하도록 구성된 대용량 가스 매니 폴드 (gas manifold) 도 포함되어 있습니다. 이 매니 폴드는 질소, 아르곤 및 수소 시스템을 지원하며, 안정적인 유출되지 않은 연결 무결성을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 주요 압력, 온도, 습도 수치를 모니터링하여 확산 프로세스에 대한 지속적인 피드백을 제공하는 여러 오븐 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이 설정은 열 및 전기 효율성을 향상시키는 고급 저곡률 플레 넘 필터 (low-curvature plenum filter) 에 의해 추가로 지속됩니다. TS 81254 (TS 81254) 는 절대 정밀도를 요구하는 제조업체를위한 매우 안정적이고 효율적인 확산 로와 액세서리 세트입니다. 이 설정은 다용도, 고도로 프로그래밍 가능하며, 반복 가능한 결과에 대한 다양한 반복 가능한 프로세스와 매개변수를 제공합니다. 또한, 인력과 환경의 최대한의 안전을 보장하기 위해 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 갖추고 있습니다. 전체적으로 TEMPRESS TS81254는 고급 확산 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다