판매용 중고 TEMPRESS 270 #2700

TEMPRESS 270은 반도체 및 산업 열 처리 응용 분야에 적합한 확산 로입니다. 270은 낮은 열 전도성 SiC 절연 물질을 사용하여 고온 균일성을 보장하는 고체 상태, 확산 로입니다. 내구성, 금속 부품 및 모든 포함 컨트롤러로 설계된 TEMPRESS 270은 온도, 난방 속도, 냉각 속도 등을 정확하게 제어할 수 있습니다. 270은 에너지 효율을 최적화하기 위해 설계된 상하 (Top and Bottom) 난방 요소를 사용합니다. 에너지 절약 3 구역, 2 채널 전원 공급 장치는 온도, 난방 속도 및 냉각 속도를 정확하게 제어합니다. 영역 내 온도 구배에서 단단히 제어되는 것은 정확하고, 반복 가능하며, 일관된 열 처리를 가능하게합니다. TEMPRESS 270 (TEMPRESS 270) 은 다양한 온도 램프 기능을 제공하여 응용 프로그램의 가열 및 냉각 프로파일을 사용자 정의할 수 있습니다. 270에는 고급 기능을 수행하여 사용자 워크로드를 완화하는 포괄적인 PID 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 장비에는 대형 풀 컬러 터치 스크린 인터페이스 (full-color touch screen interface) 와 기록 보관 및 익스포트를 위한 데이터 스토리지 시스템 (data-storage system) 도 포함됩니다. 이 인터페이스는 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 사용자는 온도를 빠르고 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이 장치의 다중 용광로 챔버 온도 영역 (multiple furnace chamber temperature zone) 을 사용하면 여러 기판을 빠르고 효율적으로 처리 할 수 있습니다. TEMPRESS 270 내부 챔버는 내부 서보 구동 컨베이어 벨트 절연기 (Conveyor Belt Insulation Machine) 로 설계되었으며, 이는 재료 공정 오염을 방지하는 역할을합니다. 컨베이어 벨트 (Conveyor Belt) 도구는 스프링로드 서스펜션 에셋 위에 장착되어 있어 처리 챔버 내에서 오염이 형성되지 않습니다. 이 절연 챔버 (insulated chamber) 는 최대 0.1 torrs의 낮은 챔버 압력을 유지하면서 섭씨 2000도까지 필요한 확산 온도를 제공합니다. 270에는 프로세스를 최적화하기 위해 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 통합 통풍구 (Integrated Venting) 모델을 통해 외부 환경에서 과도한 용광로 배기 연기가 제거됩니다. 고급 냉벽 냉각 장비, 외부 열 손실로부터 처리 챔버 (Processing Chamber) 를 보호하고 프로세스 온도 프로파일을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, TEMPRESS 270은 상류 산소 충전 메이크업 및 하류 비활성 가스 전달에 대한 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 비활성 가스 스트림 (inert gas stream) 은 산소 및 기타 오염 가스의 초저배경 농도를 제공하여 정확한 대기 제어를 제공하는 데 도움이됩니다. 전체적으로 270은 반도체 및 산업 열 처리 응용 분야에 이상적인 확산 로입니다. 온도 및 난방/냉각 속도를 정확하게 제어함으로써, 최소한의 오염으로 최적화 된 열 처리를 제공합니다. 다양한 부가 기능 (Additional Features) 을 통해, 정밀한 프로세스 제어를 통해 다양한 재료와 기판에 걸쳐 일관된 성능을 보장합니다.