판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293749182

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S는 고급 제어 및 계기가있는 매우 높은 정확도의 수직 확산 로입니다. 첨단 난방 (heating) 및 냉각 (cooling) 기능을 통해 다양한 업계에서 광범위한 확산 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 이는 반도체 생산, 항공 우주, 의료 기기 제조, 기타 많은 응용 프로그램 (온도 조절) 에서 정밀 온도 제어에 이상적인 솔루션입니다. TEL VDF 615S는 질소 대기에서 최대 온도가 1000 ° C 인 다양한 기판을 보유하기위한 615mm 직경의 스테인리스 스틸 챔버 (stainless-steel chamber) 를 갖추고 있습니다. 우수한 열 절연 효율을 통해 챔버 전체에 균일 한 온도를 유지하고, 균일 하고 반복 가능한 확산 과정을 제공 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON VDF 615S는 또한 빠른 챔버 난방 및 냉각을위한 정확하고 빠른 실리콘 카바이드 난방 요소를 특징으로합니다. VDF 615S는 고급 온도 컨트롤러, 서모커플, 서미스터를 포함하는 고정밀 온도 및 흐름 모니터링 시스템을 제공합니다. PID (Proportional-Integral-Derivative) 컨트롤러는 정확한 온도 조절이 가능하며 온도가 100 ° C까지 낮게 유지 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S 컨트롤러는 또한 전력 소비를 줄여 더 빠른 가열 및 냉각 속도를 제공하여 작동이 경제적입니다. TEL VDF 615S에는 다양한 안전 및 운영 기능도 제공됩니다. 이중 블레이드 안전 차단 시스템은 과열 (over-temper) 또는 과압 (over-pressure) 조건의 경우 전원을 차단합니다. 또한, 수소 냉각 커플 링 장치는 스파크와 화재 발생을 방지합니다. 추가 안전을 위해 디지털 카운터는 비용, 런타임 및 누적 런타임을 기록합니다. TOKYO ELECTRON VDF 615S (TOKYO ELECTRON VDF 615S) 에는 많은 확산 프로세스에 이상적인 다양한 추가 기능도 포함되어 있습니다. 고정밀 기계적 부품은 실리콘, 갈륨 비소 및 질화 갈륨과 같은 물질에 대해 매우 높은 정확도 프로세스를 제공합니다. 또한 일부 응용 프로그램에 필수적인 초고진공 처리 (ultra-high vacuum processing) 를 수행 할 수 있습니다. 마지막으로, 고급 장비와 뛰어난 설계를 통해 손쉬운 운영 및 유지 보수가 가능합니다. VDF 615S의 다양성은 다양한 확산 프로세스에 적합한 선택입니다. 고정밀도 기구 (HP) 와 온도 제어기는 반복 가능하고 정확한 확산 온도를 제공 할 수있는 반면, 고급 안전 기능은 광범위한 산업에 이상적인 선택입니다. 경쟁력 있는 가격 으로 말미암아 효율적 이고 믿을 만한 "확산 로 '를 추구 하는 기업 은 경제적 인 선택 을 하게 된다.