판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293747274

TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S
ID: 293747274
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1992
Diffusion furnace, 6" TEL NGC-M3 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S (TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S) 는 전자 업계의 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. TEL VDF-615S 확산 로는 하나의 지붕 아래에 전체 확산 과정을 수용하는 크고 독립적인 장치입니다. 이 확산 용광로 (diffusion furnace) 와 액세서리 (accessory) 는 최대 1,350 ° C의 온도 범위로 작동 할 수 있으므로 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON VDF-615S 확산 로에는 2 개의 다른 난방 구역과 1 개의 냉각 구역이 기본으로 장착되어 있습니다. 또한, 확산 로와 액세서리에는 3 개의 교환 가능한 소스 가스 병 (gas bottle) 이 장착되어 있어 기기의 더 유연한 작동이 가능합니다. VDF-615S 확산 로나 액세서리 (accessory) 는 견고성과 긴 서비스 수명을 보장하기 위해 주변 구조물을 강화하여 설계되었습니다. 확산 용광로 (diffusion fornace) 와 액세서리 (accessory) 는 또한 예상치 못한 사건을 피하기 위해 일련의 안전 연동으로 구성되었습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S 확산 로와 액세서리 (accessory) 기능은 전면에 대형 13 인치 터치 패널 화면을 통해 시스템을 제어하고 기기의 데이터를 볼 수 있습니다. 이 [터치] 패널은 사용자가 확산 프로세스를 제어할 수 있는 몇 가지 옵션 (온도 값 조정, 압력 수준 설정 등) 을 제공합니다. 또한, TEL VDF-615S 확산 로와 액세서리는 자체 고도, 저온 챔버를 제공합니다. 이 방은 확산 과정에서 높은 정밀도를 달성하기 위해 사용될 수 있으며, 또한 밀폐성 (hermetic seal) 환경을 제공하므로 용광로 (furnace) 와 결과물 (product) 의 수명을 연장시킵니다. TOKYO ELECTRON VDF-615S 확산 로와 액세서리의 추가 기능에는 시스템에 충분한 양의 공기 흐름을 제공하기 위해 조정 할 수있는 환기 플랩 (ventilation flap) 이 포함됩니다. 굴뚝 형 배기는 또한 확산 과정에서 생성 된 미립자 및 연기를 효과적으로 제거하도록 설계되었습니다. VDF-615S 확산 로와 액세서리 (accessory) 에는 자동 가스 솔레노이드 밸브가 장착되어 있어 가스 공급을 안정적으로 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S 확산 로와 액세서리는 개선 된 프로세스, 높은 품질, 신뢰할 수있는 운영을 제공하기 때문에 전자 업계의 기업을위한 대부분의 반도체 애플리케이션을 처리하는 완벽한 도구입니다. 내구성이 뛰어난 구성, 유연한 운영, 다양한 안전 (safety) 기능을 통해 안전하고 안정적인 확산 프로세스를 필요로 하는 고객에게 이상적입니다.
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