판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293637195

TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S
ID: 293637195
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
Diffusion furnace, 8" Chamber 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S는 TEL (TOKYO ELECTRON) 에서 설계 및 제조 한 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 열 처리 및 고온 어닐링 (annealing) 응용 프로그램뿐만 아니라 금속의 효율적인 확산을 위해 설계되었습니다. TEL VDF-615S는 샘플을 정해진 온도로 가열하고, 샘플에서 대기로 확산 원자를 가열함으로써 작동합니다. 6 구역 벨트 구동 챔버, 프로그래밍 가능한 원자 소스 공급, 흑연 (Graphite) 및 몰리브덴 (Molybdenum) 가열 요소와 같은 매우 다용도 시스템으로 만드는 기능이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON VDF-615S 장치는 정확하고 신뢰할 수있는 성능을 제공하는 고품질 구성 요소로 구성됩니다. 6 구역 벨트 구동 챔버 (6-zone belt-driven chamber) 는 뛰어난 균일성과 반복성을 제공하는 반면, 프로그래밍 가능한 원자 소스 공급은 적절한 가스 흐름 속도와 시간을 보장합니다. 흑연 (Graphite) 및 몰리브덴 (molybdenum) 가열 요소는 챔버 전체에서 균일 한 온도 조절을 보장하며 정확한 온도 선택을 허용합니다. VDF-615S 는 또한 과열 방지 장치 (over-temperature protection machine) 및 화염 방지 (flow-out protection) 용 글로우 플러그 (glow plug) 와 같은 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S에는 정확한 온도 및 전력 제어를 지원하는 디지털 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 도구는 또한 자동 온도 컷아웃 (automatic temperature cutout) 및 저온 셧다운 (low-temperature shutdown) 기능을 제공하여 구성 요소를 열 손상으로부터 보호합니다. TEL VDF-615S 에는 확산 로의 성능을 최적화하기 위해 사용할 수있는 다양한 액세서리도 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 옵션 작업 상자, 로드 스테이션, 가스 패널, 서모커플, 도가니 및 컨베이어 벨트가 포함됩니다. 옵션 (Optional) 작업 상자를 사용하면 샘플을 편리하게 저장할 수 있고, 로드 스테이션에서는 원하는 영역에 샘플을 올바르게 로드할 수 있습니다. "가스 '" 패널' 은 올바른 "가스 '유량 을 유지 하는 반면 열전대 는 각" 존' 의 온도 를 측정 하여 정확 한 열역학적 모니터링 을 한다. 도가니 및 컨베이어 벨트 (Conveyer Belt) 는 오염 위험을 줄이기 위해 사용될 수 있으며, 후자는 여러 배치를 빠르고 효율적으로 처리합니다. TOKYO ELECTRON VDF-615S는 신뢰할 수있는 정확도로 고온 확산이 가능합니다. 또한 최소한의 유지 보수 (maintenance) 를 통해 작동할 수 있고 뛰어난 온도 조절 기능을 제공하는 사용자 친화적 인 자산입니다. 이 모델은 성능을 최적화하고 유연성을 제공하기 위해 다양한 기능과 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있습니다. VDF-615S 확산 로는 효율적인 금속 확산 및 열 처리 응용 분야에 적합한 솔루션입니다.
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