판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-610S #9392067

TEL / TOKYO ELECTRON VDF-610S
ID: 9392067
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1989
Diffusion furnace, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF-610S 확산 퍼니스는 반도체 장치를위한 고성능 자동 처리 도구입니다. 온도 조절이 정확하고 열 처리의 균일성이 뛰어난 재료의 대량 (bulk) 및 표면 확산 (surface diffusion) 을위한 최첨단 장비입니다. TEL VDF-610S 연소실은 높이 6cm, 직경 10cm 용량으로, 광범위한 재료를 확산 할 수 있습니다. 용광로에는 자동 진공 제어 및 프로그래밍 가능한 온도 설정도 있습니다. 이를 통해 사용자는 확산 프로세스 (diffusion process) 에서 높은 정밀도를 얻을 수 있습니다. 퍼니스는 다양한 액세서리 (accessory) 를 사용하여 사용자가 프로세스를 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 진공 수준 컨트롤러, 실리콘 질화물 도가니 및 이슬점 모니터링 시스템이 포함됩니다. 도가니는 챔버 내에서 정확하고 균질하며 균일 한 온도 분포를 허용합니다. 이 장치에는 더 정확하고 균일 한 열을 챔버로 옮길 수있는 통합 전자 레인지 (integrated microwave) 난방 옵션도 제공됩니다. 용광로는 300C ~ 1800C 범위의 다양한 온도에서 작동 할 수 있습니다. 안전을 위해 TOKYO ELECTRON VDF-610S에는 지상 결함 보호 기계가 포함되어 있습니다. 이 도구는 전기 결함의 경우 조기 경고 (early warning) 자산으로 작동합니다. 또한 비활성 (inert) 제거 콘센트 (purge outlet) 를 사용하여 모델의 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다. 마지막으로 VDF-610S에는 디지털 온도계와 프로그래밍 가능한 논리 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 챔버의 온도를 신속하게, 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 용광로 (furnace) 에는 온도가 최대 설정 지점 (set point) 을 초과하면 사용자에게 경고하는 경보 장비도 포함되어 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON VDF-610S 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 반도체 재료의 열 처리 및 확산을위한 고도의 다재다능한 시스템입니다. 몇 가지 안전 기능, 정밀한 온도 조절, 독특한 액세서리 (accessory) 를 갖춘 반도체 업계의 광범위한 작업에 적합합니다.
아직 리뷰가 없습니다