판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615T #9198250

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615T는 반도체 산업 내에서 다양한 요구를 충족하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이것 은 얇은 산화물 "필름 '을 기질 에 증착 시키는 데 사용 되는 고급 용광로 이다. 이것은 산화 (oxidation) 로 알려져 있으며 현대 반도체 칩 제작의 필수 단계입니다. TEL VCF-615T 확산 용광로는 최대 1,100 ° C의 온도에서 작동 할 수 있으며 산화, 질화 또는 용광로 전용 모드에서 작동 할 수 있습니다. 이 다양성을 통해 게이트 (gate) 및 소스/드레인 확산 (source/drain diffusion) 에서 접촉 형성 등에 이르기까지 광범위한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON VCF-615T 확산 로에는 공랭식 열 교환기 (air-cooled heat exchanger) 도 장착되어 있어 냉각 속도를 돕기 위해 식은 질소를 사용하여 개선 된 결과를 얻을 수 있습니다. VCF-615T 확산 로에는 반도체 산업에 적합한 여러 기능이 있습니다. 용광로에는 2 개의 공정 가스 라인 (gas line) 이 장착되어 있으며, 이중 가스 출력과 2 가지 유형의 가스를 동시에 사용하여 필요한 프로세스에 사용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615T (TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615T) 에는 자동화 기능이 있으며, 용광로 설정을 원하는 매개변수에 자동으로 조정하고 용광로를 지정된 온도 범위 내에서 계속 작동하도록 설정할 수 있는 사용자 친화적 제어 시스템이 있습니다. TEL VCF-615T 확산 로에는 사용자 세트 비상 정지 버튼 (user-set emergency stop button), 비상 전원 차단 (emergency power shut off), 가스 차단 시스템 (gas shutoff system) 과 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 그에 따라 용광로 전원. 전반적으로 TOKYO ELECTRON VCF-615T 확산 로는 가장 최근의 기술 발전으로 설계된 고효율, 사용자 친화적 인 시스템입니다. 사용이 간편한 제어 시스템, 다양한 온도 범위, 고급 안전 기능을 갖춘 VCF-615T (VCF-615T) 는 모든 반도체 제작 플랜트에 적합한 제품입니다.