판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293596062

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S는 반도체 재료 및 장치의 연구 및 개발에 사용되는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 모든 기능을 갖춘 장비로, 0 ~ 16V 범위의 고전압을 견딜 수 있으며, 독보적인 자동 제어 기능을 통해 최적의 성장 품질 (Growth Quality) 과 반복 기능을 제공합니다. 고주파, 저전력 CMOS 통합, 박막 트랜지스터, 열전기 장치, MEMS 및 NEMS 기반 장치, 고온 초전도체와 같은 새로운 전자 소재 등 고급 반도체 소재의 개발에 우수합니다. TEL VCF-615S는 단일 챔버 인 AMF (Auto Mapping Furnace) 이며, 공백 및 결함 폐쇄가 최소인 레이어의 균질한 성장을 가능하게 하는 혁신적인 디자인입니다. 슬림하고 로우 프로파일 설계로 로드/언로드 시간 및 유지 관리 작업이 단축됩니다. 이 시스템은 고급 난방 (heating) 및 냉각 기술을 사용하여 분당 최대 40 ° C의 속도에서 최대 1100ß C의 안정적인 균일 처리 온도를 제공합니다. 그것 은 진공실 의 "온도 '와 압력 을 조절 할 수 있으며, 반응 의 압력 과 위치 도 도가니 수 있다. 또한 TOKYO ELECTRON VCF 615S의 독특한 기능 중 하나는 다중 입력 전원 공급 장치이며, 0.5V 단계에서 0 ~ 16V의 조정 가능한 전류와 전압이 있습니다. 이를 통해 온도, 전력, 시간, 최적화된 성장 조건에 대한 사용자 정의 증가 매개변수를 사용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S는 수직 및 측면 성장이 가능하며, 질화물 재료 기반 LED 및 레이저 다이오드의 연구 및 개발뿐만 아니라 GaN 및 AlGaN 기반 수직 트랜지스터의 개발을위한 이상적인 도구입니다. 이 장치는 최신 자동/수동 컨트롤러로 광신적으로 구성되며, 다단계 액세스/제어 머신 (Multi Level Access and Control Machine) 을 제공하여 연구원들이 프로세스의 조건과 매개변수를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 여러 가지 시각적, 청각적 경보 및 통신 네트워크 (Communication Network) 를 갖추고 있어 제조 공정을 추적하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON VCF-615S에는 온도 측정, 가스 흐름 미터, 가스 믹서, 정확한 전압 및 전류 판독을위한 이온-바레터, 압력 제어기 등 여러 액세서리가 제공됩니다. 이 로 말미암아 약실 의 압력 을 정확 히 제어 하여 층 의 균질 한 성장 을 보장 하고, "보이드 '와 결함 의 형성 을 방지 할 수 있다. 또한 VCF 615S의 온도 균일성은 ± 2 ° C, 압력 균일성은 ± 1 mBar입니다. 요약하면, VCF-615S (VCF-615S) 는 고급 반도체 재료 및 장치의 연구 및 개발을 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 기술자와 과학자들이 안정적이고 성능이 뛰어난 제품을 개발할 수 있도록, 탁월한 정밀 제어 및 반복 능력을 제공합니다.