판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293591401

ID: 293591401
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1992
CVD System, 6" 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 용광로는 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 고효율 용광로 부품 (Furnace Component) 을 갖추고 있어 고품질 반도체 부품을 생산하기에 적합합니다. TEL VCF-615S는 고급 온도 조절이 가능한 이중 재킷, 4 구역, 폴리실리콘 가열 석영 튜브를 사용합니다. 용광로의 온도 범위는 1000 ° C ~ 1100 ° C이며 +/- 1 ° C의 정확도 내에서 제어 할 수 있습니다. 또한, 튜브는 관절이없는 절연을 위해 고효율 석영 벽으로 둘러싸여 있으며, 표면에서 고온 균일성과 반복성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON VCF 615S는 초과 온도 보호, 압력 제어 시스템 및 부분 밀폐 된 화학 대기와 같은 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한, 쿼츠 보트, 증발 캐비닛 및 화학 증착 (CVD) 시스템을 포함하여 성능 향상을 위해 다양한 액세서리가 있습니다. TOKYO ELECTRON VCF-615S는 확산, 어닐링 및 CVD와 같은 프로세스에 적합합니다. 프로세스 반복성, 제품 품질, 비용 경쟁력 향상을 위한 효율적이고 유연한 플랫폼을 제공합니다. 또한, 3 챔버 설계를 통해 신속하게 설치 및 시운전을 수행하고 전력 소비를 줄일 수 있습니다. VCF 615S는 반도체 및 LCD 업계에서 까다로운 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다. 고품질 (High Product Quality) 과 비용 효율적인 생산의 완벽한 조합을 제공하는 매우 안정적인 확산 로와 액세서리입니다.
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