판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9377249

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9377249
웨이퍼 크기: 6"
Horizontal furnaces, 6" Gases: H2, O2, N2.
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT는 다양한 반도체 응용 분야에 사용하도록 설계된 고급 확산 로와 관련 액세서리입니다. 전체 장비에는 확산 메인프레임, 다중 사용자 카세트 트레이, 카세트 라이너, 온도 센서 및 온도 컨트롤러가 있습니다. 확산 메인프레임 (diffusion mainframe) 은 메인프레임의 슬롯에 직접 배치되고 특수 클램프를 사용하여 고정하는 최대 8 개의 카세트 (248mm 크기) 를 보관하도록 설계된 8 슬롯 플랫폼입니다. 카세트 트레이는 다양한 크기의 최대 8 개의 카세트를 수용하도록 설계된 다중 사용자 시스템입니다. 카세트 라이너는 균일 한 열 분포, 산화 방지 및 온도 균일 성을 촉진합니다. 이것 은, 특수 "클램프 '와 결합 하여, 기계 의 모든 구성 요소 가 허용 할 수 있는 오차 한계 내 에 일관성 있는 온도 에 도달 하도록 장치 전체 의 균일 한 온도 를 보장 한다. 그렇다. TEL UX-11P10-4HT (TEL UX-11P10-4HT) 의 온도 컨트롤러는 전체 도구에 걸쳐 모든 액세서리 기능을 정확하게 제어하고 제어할 수 있도록 설계되었으며, 모든 필수 기능에 걸쳐 온도 설정 지점 및 변화 속도를 정확하게 제어할 수 있도록 최적화되었습니다. 실온과 1250 ° C 사이의 온도를 제어 할 수 있습니다. 온도 조절은 세 가지 다른 범위 설정 (최대 550C), 중간 (450C 이하) 및 낮음 (350C 이하) 으로 수행 할 수 있습니다. 온도 컨트롤러 (Temperature controller) 는 여러 온도 센서에 연결되어 자산 전체의 온도를 모니터링하여 정확하고 상세한 온도 판독값을 제공합니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT는 반도체 장치에 정밀 온도 조절 및 원료를 처리하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리 모델입니다. 특수 클램프, 다중 사용자 카세트 트레이 (Multi-User Cassette Tray) 및 온도 컨트롤러 (Temperon Controller) 를 사용하는 이 장비는 고급형 반도체 장치의 최적의 작동 및 생산성을 보장하도록 최적화되었습니다.
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