판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198286

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT는 다양한 어플리케이션에 정밀 열 처리 기능을 제공하는 고급, 통합 확산 광로 및 액세서리 장비입니다. 이 다각형 모양의 탑로드 장치는 스테인리스 스틸 (stainless-steel) 구성 요소로 구성되며 최대 프로세스 반복 성과 안전을 보장하기 위해 헤르메틱 밀봉 도어 메커니즘을 갖춘 3 구역 격리 껍질을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 특허를받은 "화살촉" 열 확산 설계에 기초하여 2 개의 반대쪽에 직접 난방 요소가있는 단일 구역, 4 챔버 어레이와 중앙 구성 요소를 통해 작동합니다. 확산 세포의 활성 영역에는 각각 독립적 인 온도 조절과 최대 온도가 1150 ° C 인 핫 존 (hot zone), 따뜻한 존 (warm zone) 및 쿨 존 (cool zone) 이 포함됩니다. TiN-sphere 프로세스 스테이션은 균일 한 확산 프로세스에 맞게 조정되었으며, 업계 별 산화 프로세스 및 기타 가스에 대한 유연하고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 현장 방출 모니터링이 장착 된 TEL UX-11P10-4HT는 확산 셀 내에서 뛰어난 온도 균일성과 안정성을 제공합니다. 온보드 분석 도구를 사용하면 가스와 온도 측정을 모두 사용하여 실시간 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT의 추가 기능에는 카세트 어댑터 플레이트, 완전 밀폐 된 액티브 가스 샤워, 복합 로드 잠금/챔버 언로드 장치 및 여러 빠른 열 처리 기능이 포함 된 자동 웨이퍼 카세트 프로세스가 포함됩니다. 또한, 이 기계에는 공정 가스를 일관되게 공급하기 위해 내장, 로우 프로파일 (low-profile) 가스 전달 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산에는 편리한 유지 관리 모델, 디지털 온도 판독 디스플레이 (Digital Temperature Readout Display), 분석 (Analysis) 및 추적 (Tracking) 을 모두 위한 직관적인 프로세스 소프트웨어 장비 등 사용자 친화적 인 여러 기능이 포함되어 있습니다. 요약하자면, UX-11P10-4HT는 다양한 어플리케이션에 대한 정밀 열 처리 기능을 갖춘 고급, 통합 확산 로와 액세서리 시스템입니다. 자막 밀봉 된 도어 메커니즘, 3 구역 격리 쉘 및 현장 방출 모니터링 (in-situ emissivity monitor) 은 처리 셀 내에서 뛰어난 온도 균일성과 안정성을 제공합니다. 자동화된 웨이퍼 카세트 프로세스와 여러 가지 빠른 열 처리 기능과 함께 TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT (Fature-Packed Design) 는 프로세스 가스의 일관된 공급과 사용자 친화적 개선에 이상적입니다.