판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198285

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT는 확산 용광로 기구이며 반도체 제작, 태양 전지 연구, 기타 연약하고 민감한 재료 연구와 같은 분야에서 광범위한 응용을 위해 설계된 액세서리 패키지입니다. 이 특정 장치는 다양한 공정 가스 제어 (process gas control) 를 갖춘 진공 환경에서 효율적인 열 처리를 위해 설계된 수평 병렬 플레이트, 4 구역 퍼니스입니다. 각 영역 (zone) 에는 여러 세트의 상하 (upper) 및 하부 (lower) 전극이 배치되어 재료를 원하는 온도로 가열함에 따라 균질한 온도를 보장합니다. 이러 한 전극 은 전자 "에너지 '공급 장치 에 연결 되어 전류 와 전압 수준 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이 구성은 또한 용광로 사용 방식에 더 큰 유연성을 허용합니다. 용광로의 4 개 구역은 각 프로그램에 대해 별도의 온도로 독립 프로그램을 실행할 수 있습니다. 용광로 챔버 자체는 효율적인 열 전달을 위해 설계되었으며, 대량 생산 된 랩 (lapped) 흑연 구조가 에너지를 흡수하고 전달하도록 최적화되었습니다. 핫 존 (Hot Zone) 디자인은 균일 한 가열을위한 풀 페이스 모자 모양과 이중 강화 된 질화 붕소 절연을 특징으로하여 용광로에서 상하로 균일 한 온도 균일성을 보장합니다. 전체 시스템은 Class 1 진공 용기에 장착되어 저압 처리를 위해 적절한 환경을 만듭니다. 이 패키지에는 온도 및 기타 매개변수의 정확한 조정이 가능한 프로그래밍 액세서리도 포함되어 있습니다. EasyGap 소프트웨어 패키지를 사용하면 프로그래밍이 훨씬 더 효율적이고 사용하기 쉽습니다. 이 패키지에는 매개 변수 기반 설정이 포함되어 있으며 실험자에게 더 많은 유연성을 제공합니다. 사용자는 진공 압력, 램프레이트, 온도 센서 위치, 냉각 속도와 같은 여러 매개 변수를 제어할 수 있습니다. 마지막으로, 이 패키지에는 확산 프로세스 (diffusion process) 중 또는 후에 프로세스 매개변수를 모니터링하기 위한 다양한 센서가 포함되어 있습니다. 이 센서는 산소 및 수소 압력 센서, 온도 센서 및 방출 센서에 이르기까지 다양합니다. 이러한 센서를 사용하여 사용자는 확산 프로세스 (diffusion process) 동안 프로세스 조건과 진행 상황을 추적 및 기록할 수 있습니다. 전반적으로 TEL UX-11P10-4HT 확산로 및 액세서리 패키지는 정확하고 효율적인 열 처리 및 연구를 위한 번들 솔루션을 제공합니다. 종합적인 하드웨어/소프트웨어 패키지를 통해 가장 섬세하고 민감한 소재 (정확성과 신뢰성) 를 발휘할 수 있습니다.