판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198282

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT는 메모리 제작 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 정밀하고 반복 가능한 처리를 위해 매우 얇은 챔버와 고급 온도 조절이 특징입니다. 확산 로에는 내장 광역 온도 센서가 장착되어 있으며, 최대 1100 ° C의 공정 온도를 정확하게 제어합니다. 사용자 친화적인 멀티 터치 LCD 패널을 통해 최대 4개의 다양한 난방/냉각 존 (zone) 을 설치하고 제어할 수 있습니다. 또한 TEL UX-11P10-4HT 는 다양한 튜브 소재 옵션을 제공하며, 이를 통해 고객의 장비를 특정 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 용광로의 선택적 액세서리에는 4 방향 가스 유동계 (4 방향 가스 유동계), 단일 공정 가스의 흐름을 제어하는 것, 균일성 향상을위한 온웨퍼 히터 (on-wafer heater) 가 포함됩니다. 필요에 따라 여러 프로세스 가스를 추가로 제어할 수 있도록 off-the-shelf 자동 흐름 컨트롤러 (off-the-shelf automatic flow controller) 를 시스템에 추가할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT (옵션 회전 메커니즘) 는 용광로의 기저가 다양한 각도를 통해 회전하여 웨이퍼 분할에 이상적입니다. 챔버에는 이동식 흑연 서셉터 (supceptor) 가 있으며 원하는 컨투어에 완전히 가공할 수 있습니다. 이것은 레시피 유연성을 높이고 웨이퍼 회전 중 '에지 효과 피크' 를 줄입니다. UX-11P10-4HT는 신뢰성이 높고 서비스가 간편합니다. '모니터링 시스템 (monitoring system)' 은 문제가 발생하기 전에 프로세스 중단을 감지하여 비정상적으로 모든 전원을 자동으로 차단할 수 있습니다. 이 시스템은 깨끗하고 안정적인 220V 단상 (single-phase) 전원 공급 장치로 작동하며 최대 12A 전류를 제공하도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT는 cULus, CE 및 SGS가 승인되었으며 유럽 최고의 안전 표준을 충족합니다. 마지막으로 제작 된이 시스템은 부식 및 챔버 분해를 방지하기 위해 산화물 필름 (oxide film) 으로 코팅됩니다. 이러한 기능을 통해 이 확산 퍼니스와 액세서리 패키지를 메모리 제작 어플리케이션에 이상적인 선택으로 만들 수 있습니다.