판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP #9148202

TEL / TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP
ID: 9148202
빈티지: 1988
Diffusion furnaces 1988 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP 확산 로는 재료 연구 및 반도체 제작을위한 도구입니다. 반도체, 금속, 안경, 도자기 등 다양한 물질의 고온 생산을 위해 설계되었습니다. 독보적 인 "디자인 '은 탁월 한 온도 의 일관성 을 그리고 확산 과정 에 사용 되는 온도 와" 가스' 에 대한 정확 한 제어 를 가능 케 한다. TEL UX-1190-4TP에는 3 구역, 단일 쿼츠 튜브 퍼니스 챔버, 확산 프로세스를 쉽게 모니터링하는 하향식 시청 창이 제공됩니다. 챔버에는 챔버의 모든 영역에서 정확한 온도 조절이 가능한 인 시투 (In-Situ) 포커싱 미러가 장착되어 있습니다. 또한 반응성 가스, 미니 캐처 포트 (mini-catcher port) 및 안전하고 효율적인 작동을위한 냉각 시스템 (cooling system) 을 전달하기위한 옵션 가스 라인이 제공됩니다. 이 용광로에는 몇 가지 액세서리 (액세서리) 가 포함되어 있어 사용하기 쉽고 효율적입니다. 여기에는 안전 모니터 및 경보, 샘플 캐리지, 석영 도가니, 웨이퍼 패턴 회전 목마 및 다양한 가스 팩스 마크가 포함됩니다. 안전 모니터 (Safety Monitor) 는 확산 프로세스가 엔지니어링 사양에 따라 안전하게 수행되도록 합니다. 예제 "캐리지 '와" 쿼츠' 도가니 는 용광로 "챔버 '에서 표본 을 삽입 하고 제거 하기 가 더 쉽도록 설계 되었다. 웨이퍼 패턴 회전 목마를 사용하면 원하는 패턴을 빠르게 변경할 수 있습니다. 마지막으로, 가스 페이스 마스크 (gas facemask) 는 확산 프로세스 전반에 걸쳐 가스 흐름 매개변수가 일관되게 유지되도록 도와줍니다. TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP 확산 로는 최고 품질의 재료를 생산하기위한 안정적이고 정확한 도구입니다. 인시투 (In-Situ) 포커싱 미러는 챔버 전체에서 정확한 온도 조절을 보장하는 반면, 수많은 액세서리는 확산 과정을 더 쉽고 효율적으로 만듭니다. 또한, 안전 모니터 (Safety Monitor) 와 알람 (Alarm) 은 사용자에게 자신의 장비가 의도대로 수행되고 있다는 것을 알고 안심할 수 있도록 해줍니다.
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