판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP #9148199
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TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 확산 용광로 및 관련 액세서리 제품군입니다. TEL UX-1190-4TP는 특허를받은 회전 웨이퍼 (rotating-wafer) 플랫폼을 갖춘 수직 튜브 퍼로, 연장 기간 동안 균일 한 가열을 허용합니다. 이 기능은 고품질 반도체 장치의 제작과 관련된 처리 시간 (Processing Time) 과 효율성 (Efficiency) 을 줄이기 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP는 30kW 전원에 의해 구동되며, 생산 실행 중 균일하고 균일 한 온도 조절을위한 두꺼운 절연 재료를 갖춘 멀티 존 퍼니스 인클로저를 포함합니다. 고급 프로그래머블 로직 컨트롤러 (Programmable Logic Controller) 장비를 통해 정밀한 작동 및 온도 제어를 통해 강력한 제품 품질을 보장할 수 있습니다. UX-1190-4TP는 최대 섭씨 1200 도의 온도 범위를 특징으로하며, 대부분의 반도체 장치 제작 프로세스에 충분합니다. 이 퍼니스는 프로세스 안정성 향상, 웨이퍼 포지션 센서 (Wafer Position Sensor) 및 탁월한 제품 품질 및 안전을 위한 대기 모니터링 시스템을 위한 백사이드 냉각 시스템 (Backside Cooling System) 을 포함한 다양한 액세서리와 결합되도록 설계되었습니다. 또한, TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP는 표준 환경 제어 시스템과 호환되도록 설계되어, 고온 환경에서 원활하게 작동할 수 있도록 다른 용광로 구성 요소에 연결할 수 있습니다. TEL UX-1190-4TP는 내구성과 유지 관리를 염두에 두고 설계되었습니다. 견고한 건축은 과중한 건축과 고급 절연재로 인해 장기적인 내구성을 보장합니다. 또한 유지 보수 시스템 (Maintenance System) 을 통해 운영자는 다양한 중요한 구성 요소와 시스템을 쉽게 모니터링하여 성능을 최적화할 수 있습니다. 내장형 유지보수 장치 (Maintenance Unit) 는 발생하는 모든 문제를 경고하며, 운영자에게 장비나 관련 부품에 잠재적 손상이 발생하기 전에 장애 발생/복구 기회를 제공합니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP는 처리 시간이 단축된 고품질 제품을 생산하도록 설계된 고급 확산 로와 관련 액세서리 제품군입니다. UX-1190-4TP 는 멀티 존 (Multi-Zone) 난방 및 냉각 옵션, 고급 환경 제어, 상세한 유지 관리 시스템 등을 통해 반도체 및 기타 하이엔드 디바이스 제작에 이상적인 툴입니다.
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