판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9269424

TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080
ID: 9269424
웨이퍼 크기: 4"-6"
Diffusion furnaces, 4"-6".
TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080은 트랜지스터 및 집적 회로와 같은 특수 전자 부품을 제조하기 위해 특별히 설계된 고품질 확산 로입니다. 열 기술, 특히 RTA (Rapid Thermal Annealing) 의 조합을 사용하여 고품질 확산 접합을 달성하고 고급 반도체 제조 장비를 요구하는 사람들에게 바람직한 다양한 기능을 제공합니다. 용광로 자체는 강철 외부 껍질로 만들어졌습니다. 내부에 큰 석영 난방 튜브 (quartz heating tube) 가 있으며, 내부 부품으로 열 에너지를 전달하여 모든 부품이 고르게 가열됩니다. 튜브 내 온도는 피로미터로 모니터링됩니다. 부품이 처리되도록 안전하고 안정적인 환경을 확보하기 위해 용광로 (Furnace) 에는 여러 안전 경보 (Safety Alarm) 와 온보드 제어 시스템 (Integrated Control System) 에 의해 모니터링되는 비상 정지 (Emergency Stop) 스위치가 있습니다. TEL UX-1080은 종종 복잡한 접합을 형성하기 위해 PMD (Pre-Metal Diffusion) 또는 VPE (Vapour Phase Epitaxy) 처리와 함께 사용됩니다. 즉, 장치가 제공하는 높은 열 전력 (thermal power) 덕분에 처리 시간이 빨라집니다. 또한, 반송파 가스를 통해 접합 공정에 불순물 또는 동위 원소를 도입 할 수 있으며, 그 결과 전기적 특성이 개선 된 성분을 갖는다. TOKYO ELECTRON UX-1080 (TOKYO ELECTRON UX-1080) 의 설계는 오랜 기간 동안 많은 부품을 처리 할 때에도 프로세스가 반복되고 일관성을 보장합니다. 로우 온도를 +/-0.5 ° C로 제어하는 능력은 로드 락 챔버 (load lock chamber), 샘플 홀더 (sample holder) 및 쿼츠 튜브 프로텍터 (quartz tube protector) 와 같은 다양한 액세서리와 함께 사용되므로 다양한 전자 프로세스에 적합합니다. 전반적으로, UX-1080 (UX-1080) 은 다양한 전자 응용 분야에 대한 고정밀 (high-precision) 부품을 생산할 수있는 강력한 확산 로로, 반도체 제조 시설에 귀중한 자산입니다. 고품질 (High Quality) 구성, 다양한 안전 기능 및 다양한 액세서리로, 효율성과 신뢰성으로 유명합니다.
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