판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9068938

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080은 고급 확산 로와 관련 액세서리입니다. 주요 특징은 발사 챔버 (baling chamber) 를 가로 지르는 큰 균일 한 온도 프로파일이며, 처리 중 기판 온도의 정확한 온도 조절이 가능합니다. 온도 범위는 0 ° ~ 1000 ° C이며 온도 프로파일의 균질성은 +/-1 ° C입니다. 대류 팬 (convection fan) 은 강한 양의 압력을 특징으로하여 챔버를 가로 질러 열을 균일 하게 분배 할 수 있습니다. "팬 '은 두 방향 으로 조정 할 수 있으며, 유동 과 온도 가 균일 한 확산 과정 이 가능 하다. 확산 로 에는 비활성 "가스 '주입 장치 도 갖추어져 있는데, 이것 은 비활성" 가스' 를 균등 하게 순환 시키고 기질 농도 의 균일성 을 유지 하는 데 도움 이 된다. 확산 챔버 (diffusion chamber) 는 효과적인 열 분배를 위해 히터 플레이트로 내부에 밀폐되고 보호됩니다. 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 은 매우 효율적이고 다양한 어플리케이션을 수용할 수 있도록 조정이 가능하도록 설계되었습니다. 프로그래밍 가능한 컨트롤러 기능은 처리 실행을 설정하는 데 편리하고 유연합니다. TEL UX-1080 확산 로에는 컴퓨터 모니터링 처리를 허용하는 강력한 소프트웨어 패키지도 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하면 다양한 변수를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 발사 온도, 램프 속도 설정 (set ramp rate), 지체 시간 (dwell time) 및 기판 온도를 직접 조정하는 기능을 포함하여 다양한 기능을 설정할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON UX-1080 확산 로에는 다양한 보조 구성 요소가 제공됩니다. 여기에는 챔버 및 기판에 쉽게 액세스 할 수있는 스펙트럼 방출 모니터 (spectral emission monitor) 및 자동 머플 오프너 (muffle opener) 가 포함됩니다. 용광로 는 "가스 '나 액체 유동" 미터' 와 같은 여러 가지 다른 부속품 과도 호환 된다. 고품질 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 결론적으로, UX-1080 확산 로와 액세서리는 라인 프로세스 시스템의 최상위입니다. 그 온도범위 (wide temperature range) 와 챔버를 가로 지르는 온도 프로파일 (temperature profile) 의 균질성 (homogeneity) 은 여러 확산 프로세스에 적합합니다. 사용자 친화적인 소프트웨어 패키지와 주변 장치 (peripheral) 구성요소를 통해 모든 연구/운영 환경에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.