판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #9148349

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H는 집적 회로 재료 및 부품을 개발하도록 설계된 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 박막 증착 물질에 적합합니다. 이 포괄적인 패키지는 메인프레임, 공랭식 메인프레임, 가스 캐비닛 (Gas Cabinet), 버블러 (bubbler), 온도 컨트롤러 (Temperature Controller), 박막 처리에 필수적인 여러 가지 추가 구성 요소로 구성됩니다. 메인프레임 (Mainframe) 은 고성능 박막 (Thin-Film) 처리를 위해 제작되었으며 작업 시뮬레이션의 유연성과 복잡한 프로세스에 필요한 전문 기술 수준을 제공합니다. 설계는 사용자 친화적이며 고속 작동과 간편한 유지 관리를 지원합니다. 고속 가열 및 냉각 시스템은 적외선 세라믹 가열 요소를 사용하여 온도 범위를 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다 (영문). 공랭식 메인프레임에는 온도 컨트롤러가 장착되어 있으며, 최대 400 ° C의 온도 작동이 가능합니다. 고온 프로세스 중에 프로세스 챔버를 방해받지 않는 뷰 (Vycor window isolator) 도 허용됩니다. 가스 캐비닛 (Gas Cabinet) 은 안전하고 통제 된 대기를 유지하면서 1 차 프로세스 컴포넌트를 연결하는 데 적합한 환경을 제공합니다. 질량 흐름 컨트롤러, 압력 변환기 및 누출 감지기를 포함합니다. 또한 패키지에는 기판 로드 및 언로드에 필요한 구성 요소가 들어 있습니다. 기계식 진공 펌프, 가스 밸브 및 파워 페데스탈과 같은. 이 패키지에는 다양한 주변 장치 구성 요소 및 액세서리가 포함되어 있습니다. 버블러 포드, 쿼츠 선박, 온도 센서, 플랜지, N2 퍼지 백, 본드 스트랜드, 알루민화 된 절연 등과 같은. 또한 "다이아몬드 '필름, 금 필름," 티타늄' 필름 을 포함 한 특수 "필름 '을 여러 가지 기판 에서 재배 할 수 있다. TEL UL 2604-10H 패키지는 혁신적인 박막 증착 요구사항을 위한 원스톱 (one-stop) 솔루션으로, 사용자에게 복잡한 프로세스를 위한 유연성과 전문성을 제공합니다. 이 패키지의 독보적인 설계와 고급 (advanced) 기능은 다양한 어플리케이션에서 고품질의 결과를 얻을 수 있는 매우 유용한 툴입니다.