판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #293586739

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L은 반도체 산업에서 사용하도록 특별히 설계된 고성능 열 확산 로입니다. 확산 로는 고출력 가스 공급 튜브 (gas-feed tube) 와 정전기 원리 (electrostatic principles) 를 사용하여 보호 물질 층을 반도체 재료 표면에 침전하고 합금합니다. 매우 정확하고, 에너지 효율적이며, 안정적이며, 반도체 생산을위한 최고의 선택입니다. 용광로의 가스 공급 튜브는 2 개의 열 저항 표면으로 구성됩니다. 첫 번째 "플라즈마 '는 고출력" 플라즈마' 를 기판 에 내어 보호 층 을 침착 시킨다. 두 번째 표면은 작고 정확하며, 균일 한 확산 영역을 보장합니다. 균일 한 영역 은, 보호 물질 층 이 전체 기판 전체 에 걸쳐 일관성 있고, 효율적 으로 확산 되도록 한다. TEL UL 2604-08L에는 이중 자동 전송 암과 다중 열 센서 장착 먼지 수집기의 두 가지 옵션 구성 요소가 있습니다. 자동 전송 암은 확산 (diffusion) 과 온도 조절 (temperature control) 의 여러 단계 사이에서 웨이퍼 기판을 운반하는 데 사용됩니다. 한편, 열 센서는 여러 지점에서 용광로의 온도를 모니터링하고 컨트롤러에 대한 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 그 먼지 수집가 들 은 공수 먼지 와 "미립자 '물질 을 제거 할 수 있는데, 이 물질 은 교환실 에 존재 할 수 있으며, 작업장 을 깨끗 하고 안전 하게 유지 한다. TOKYO ELECTRON UL 2604-08L에는 처리 중인 재료에 따라 운영자가 자신의 프로파일을 사용자 정의할 수있는 사용자 친화적 인 터치 스크린 컨트롤도 있습니다. 프로파일은 하드 드라이브 (hard drive) 에 저장되며 쉽게 조정할 수 있으며, 다양한 기판을 다룰 때 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 안전 관점에서 UL 2604-08L에는 차단 경보, 3 인칭 경비 및 액세스 제어 시스템이 포함됩니다. 셔터 끝 (End-of-shutter) 경고는 용광로 문이 열릴 때마다 트리거되며, 문이 제대로 닫히지 않으면 작동이 중지됩니다. 3 인칭 경비원과 액세스 제어 시스템은 각각 용광로 챔버 (furnace chamber) 에 들어가거나 무단 조치를 수행하지 않도록 보호합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L은 반도체 생산 산업의 요구를 충족시키기 위해 제작 된 정교하고, 정확하고, 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 에너지 효율이 높은 가스 피드 튜브 (gas-feed tube) 및 듀얼 자동 전송 암 (automatic transfer arm) 은 사용자 친화적 인 터치 스크린 컨트롤 및 다양한 안전 지향 기능과 결합하여 반도체 생산에 탁월한 선택입니다.