판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H / L #9226113

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L은 광범위한 어플리케이션을 위해 설계된 고급 액세서리를 갖춘 열적으로 분리 된 확산 로입니다. 이 용광로는 온도 범위가 넓어 최대 1300 ° C (1300 ° C) 까지 도달 할 수 있으므로 까다로운 프로세스에 적합합니다. TEL UL 2604-08H/L은 가동 중지 시간을 줄여주는 수분 내성 디자인과 프로세스 매개 변수를 쉽게 사전 설정하는 내장 가스 제어 패널을 특징으로합니다. 또한, 운영자가 용광로 매개변수를 모니터링하고 설정할 수 있는 손쉬운 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 갖추고 있습니다. 효율적인 핫 월 설계를 통해 TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L은 프로세스 전반에 걸쳐 균일하고 정확한 가열을 제공합니다. UL 2604-08H/L 확산 로에는 효율적이고 균일 한 가열을 제공하도록 설계된 고급 다기능 석영 서셉터도 있습니다. 감수기는 특수 석영을 사용하여 만들어졌으며, 최적의 결과를 위해 고온 도가니 (crucible) 또는 웨이퍼 (wafer) 가 장착됩니다. 이 용광로에는 세라믹 (ceramic) 으로 만든 추가 수냉식 안전 인클로저 (external water-cooled safety enclosure) 가 장착되어 있어 열면과의 잠재적 인 물리적 접촉을 방지합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L 확산 로에는 빠르고 간편한 가공소재 포지셔닝을위한 진공 로딩 프로세스와 복구 시간을 단축하고 운영을 단순화하는 로드 잠금 장비 및 쿨다운 시스템이 포함되어 있습니다. 용광로에는 또한 증기 상 압력 제어 장치 (vapour-phase pressure control unit) 가 제공되어 공정 중에 제어되지 않은 확산 또는 과부하를 방지합니다. 안전성을 보장하기 위해 TEL UL 2604-08H/L에는 온도를 모니터링하고, 세트 레벨을 초과하면 가열 프로세스를 중지하는 프로그래밍 가능한 과열 방지 머신이 장착되어 있습니다. 또한 용광로에는 프로세스 상태 (process status) 를 표시하고 필요에 따라 매개변수를 모니터링하고 조정하는 데 도움이 되는 LED 디스플레이가 있는 전기 제어판 (Electrical Control Panel) 이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L 확산 로는 유지 보수가 최소화되어 깨끗하고 균일하며 정확한 결과를 얻기 위해 신뢰할 수있는 도구입니다. "액세서리 '와" 안전성' 의 수 로 그 성능 이 더욱 향상 되어 이 용광로 는 더욱 현명 하고 더 효율적 이 된다.