판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08 #293591385

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08은 TEL Limited에서 설계 및 제조 한 정교한 확산 로입니다. 수직 가열, 수평 가열, 수직 냉각 등 다양한 증착 공정을 위해 3 개의 층으로 구성되어 있습니다. 수직 난방층에는 가스 분배기, 복사 히터 및 3 단계 이동 가능한 RF 창이 장착되어 있습니다. 수평 가열층 은 여러 개 의 대류 "히터 '를 갖추고 있고 수직 냉각층 은 순환" 팬' 과 방열판 을 갖추고 있다. 이 확산 용광로는 최대 온도 1,850 ° C 및 최대 작동 시간 90 분을 자랑합니다. 또한, 3000V 전원 공급 장치가 장착되어 정확하고 안정적인 작동을 보장합니다. 전원 공급 장치 제어는 Windows 7 O에서 작동하는 통합 컴퓨터 장비를 통해 수행됩니다. 이 운영 체제는 온도 조절, 예열대 (preheating zone) 제어, 증착대 (deposition zone) 제어, 냉각대 제어 등 다양한 설정을 허용합니다. TEL UL 2604-08은 Poly-Si, Mo-Si2 및 Ni-Silicid와 같은 다양한 증착 프로세스 및 재료에 사용될 수 있습니다. 또한, 방향 및 선형 증착에 모두 사용할 수 있습니다. 에너지 효율이 높고, 전력 소비량이 적고, 소음 수준이 낮습니다. 또한 자동 정지 장치 (Auto-Stop Unit) 가 있으며 프로세스가 끝나면 자동으로 작동이 중지됩니다. 이 장비에는 자동 호이스트 (hoist )/탈 호이스트 (de-hoist) 기능과 3 개의 공기 잠금 장치가 포함되어 있어 작업 조각의 빠른 로드/언로드가 가능합니다. TOKYO ELECTRON UL 2604-08에는 기판 농도가 낮아 더 균일 한 웨이퍼 질감을 유지할 수 있도록 type-A 셔터가 장착되어 있습니다. 마지막으로, 업그레이드 된 원격 액세스 머신 (Upgraded remote access machine) 과 알람 램프 (alarm lamp) 가 장착되어 안전성을 높입니다. 단일 로브 및 컴팩트 한 디자인에 장착 된 UL 2604-08은 다양한 산업 응용 분야에 이상적인 확산 로입니다. 통합 자동 제어 시스템과 다양한 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08은 TOKYO ELECTRON의 안정적이고 강력하며 비용 효율적인 확산 로입니다.