판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226252

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS는 여러 자동화, 안전 및 공정 제어 기능을 갖춘 확산 용광로 및 컨트롤러 구성 요소입니다. 확산, 산화, 도핑, 착상, 어닐링 등 다양한 프로세스에 적합한 다재다능하고 고효율 장비입니다. TEL UL-2604-08-LS는 모듈식 설계를 통해 쉽게 설치, 구성 및 작동할 수 있습니다. 두 개의 장비, 제어 장치 및 확산 로로 구성됩니다. 제어 장치는 데이터 입력 (data entry), 제어판 (control panel), 사용자에게 친숙한 프로세스 컨트롤러 (process controller) 및 다양한 상태 모니터링 및 보호 기능으로 구성됩니다. 또한 손쉽게 작동할 수 있도록 터치에 민감한 패널과 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 자율 확산 로는 마이크로프로세서 컨트롤러 (microprocessor controller) 를 통해 프로세스를 작동하고 제어할 수 있습니다. 주 (main) 및 주변 (peripheral) 구역에 위치한 8 개의 가열 요소로 구성된 다중 구역 가열 시스템이 있습니다. 이러한 영역은 서로 안전하게 분리되며, 프로세스를 독립적으로 제어할 수 있습니다. 퍼니스는 또한 주 챔버 위에 장착 된 확산 오븐을 특징으로하여 산화, 도핑, 이식, 어닐링 (annealing) 과 같은 여러 공정의 동시 작동을 가능하게한다. TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS (TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS) 에는 안전한 시스템 턴온을위한 키 스위치 인터 록, 비상 정지 버튼, 프로세스 정확한 모니터링을위한 온도 및 압력 센서 등 여러 자동 안전 및 프로세스 제어 기능이 있습니다. 이 확산 퍼니스에는 프로세스 데이터를 캡처하기 위한 데이터 로거 (Data Logger) 가 장착되어 있으며, 이 데이터는 포스트 프로세싱 및 분석에 사용할 수 있습니다. 또한, 용광로 및 제어 구성 요소는 최대 운영 안전을 위해 설계되었으며, 여기에는 이중 안전 절차, 제어 전력 모니터링 및 각 구역마다 별도의 리드 스루 (lead-through) 배선이 포함됩니다. 또한 feedthrough의 수평 통과를위한 스테인리스 스틸 컨테이너가 있습니다. 전반적으로, UL-2604-08-LS는 복잡한 프로세스에 적합한 안정적이고 사용자 친화적인 확산 로와 컨트롤러 구성 요소로, 쉽게 구성하고 작동할 수 있습니다. 수많은 향상된 안전 및 제어 (Safety and Control) 기능을 통해 운영 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다.