판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226251

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS는 반도체 장치의 산업 생산을 위해 설계된 확산 로입니다. P 형 난방 구역과 N 형 냉각 구역이있는 2 구역 수평로로 구성됩니다. 난방 구역은 저항성 히터를 사용하여 가열되어 최대 1200 'C의 온도를 생성 할 수 있습니다. 냉각구에는 200- C의 낮은 온도에 도달 할 수있는 강제 공기 냉각 장비가 있습니다. 둘 다 더 많은 확산 과정을 위해 균일 한 온도 분포를 가지고 있습니다. TEL UL-2604-08-LS에는 PID 컨트롤러, 타이머 기능, 손쉬운 작동을 위한 터치 스크린 LCD 등이 포함된 최신 스타일의 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 컨트롤러는 자동화된 시퀀스에 대해 여러 프로그램 (최대 100개의 단계, 3개의 패턴) 을 실행할 수 있습니다. 또한 부품의 로드 및 언로드를 용이하게 할 수 있는 ATD (Automatic Temperature Device) 와 QTD (Quick-Tilt Device) 가 있습니다. TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS는 최적의 안전 작동을 보장하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 오염 된 "가스 '를 수집 하기 위한 배기 장치, 비상 정지" 스위치' 및 연기 및 화재 탐지 를 위한 자동화 된 화재 경보 장치 가 있다. 또한, 용광로를 안전 모니터 (Safety Monitor) 도구 (옵션) 와 함께 사용하여 모든 안전 측정을 준수할 수 있습니다. 주요 확산 로를 제외하고, UL-2604-08-LS에는 프로세스를 더욱 효율적으로 만드는 다양한 액세서리 장비도 포함되어 있습니다. 부품 로드 및 언로드가 용이한 내부 리프트 에셋 (internal lift asset) 과 프로세스 가스를 보다 효율적으로 전달할 수 있는 퍼니스 (furnace) 인서트 (insert) 가 포함되어 있습니다. 또한 공정 가스를 정확하게 제어 할 수있는 고유 가스 모니터 (gas monitor) 모델이 특징입니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS는 반도체 장치의 산업 생산을 위해 설계된 확산 로입니다. PID 컨트롤러, 타이머, ATD 및 QTD 기능과 같은 고급 기술과 모든 안전 기능 (Safety Feature) 을 갖추고 있습니다. 또한, 종합적인 액세서리 (accessory) 목록은 다양한 어플리케이션의 효율성과 효율성을 높여줍니다.