판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226250

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS
ID: 9226250
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
LPCVD System, 6" 1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS는 업계 최고의 성능과 비용 효율성을 제공하기 위해 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구는 높은 녹는점 합금 (High Melting Point Alloys) 및 금속 간 화합물과 같은 다양한 재료의 확산 처리에 완벽하게 적합합니다. TEL UL-2604-08-LS는 자체 포함된 PID 온도 컨트롤러/모듈과 7 세그먼트 디지털 디스플레이 화면을 사용하여 시스템 성능을 모니터링하는 마스터 컨트롤 박스를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 전원 공급 장치, 2 개의 IR 센서, 고감도 진공 압력 게이지 및 도구의 성능을 향상시키는 가스 퍼지 (Gas Purge) 기계도 포함됩니다. TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS의 자산은 에너지 효율적인 마이크로 프로세서로 설계되어 전력 비용을 절감합니다. 또한, 용광로는 최고 온도 (최대 1000 ° C) 까지도 처리 할 수 있으며, 다양한 기판 재료를 심층적으로 처리 할 수 있습니다. 또한 프로세스 중 정밀 조작 및 결과 제품의 최대 반복 성 (imiment repeatability) 을 보장하기 위해 광범위한 온도 프로파일 (temperature profile) 을 제공합니다. UL-2604-08-LS에는 안전성과 강도를 극대화하는 여러 가지 설계 기능이 포함되어 있습니다. 하나의 경우, TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS에는 공기 냉각 모델이 장착되어 있으며, 이 모델은 열 팽창 및 장비 손상을 방지하기 위해 작동합니다. 또한, 이 시스템에는 도어 인터 록 (door interlock) 및 래치 폐쇄 (latch-closed) 뚜껑과 같은 여러 기계적 안전 시스템과 다양한 전기 안전 부품 (electrical safety component) 이 포함되어 있습니다. TEL UL-2604-08-LS 장치에는 활용도를 최적화하는 여러 가지 설계 기능도 있습니다. 용광로 에는 작동 중 에 분실 되는 열 의 양 을 감소 시키기 위해 효과적 인 열 방패 (heat shield) 를 갖춘 "박스 '외장 장치 (out of the box shielding machine) 가 들어 있다. 또한, 이 도구에는 거의 즉각적인 점화를 허용하는 빠른 시작 기능, 클린 가스 구성 유지에 도움이되는 통합 가스 필터 자산, 모델의 효과를 향상시키는 퍼지 (purge) 기능을 갖춘 내장 비활성 가스 공급 (inert gas supply) 이 포함됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS 확산 로와 액세서리 장비는 다양한 재료의 고온 확산 처리에 이상적인 선택입니다. 탁월한 성능, 에너지 효율성, 안전성을 제공하므로 다양한 어플리케이션에 적합합니다.
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