판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226258

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS는 탁월한 확산 용광로 및 액세서리 성능을 제공합니다. 이 모델은 고급 반도체 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 다양한 초저온 프로세스에 적합합니다. 4 인치, 25 위치 카세트 헤드 및 8 인치 쿼츠 히터가 장착 된 단일 열 구역 장비입니다. 열 영역은 온도 및 균일성을 제어하고 관리하도록 설계되었습니다. 또한, 시스템은 프로세스를 최적화하기 위해 자동 쿼츠 튜브 흐름 제어를 사용합니다. 용광로의 전체 크기는 1200mm (높이) 및 1900mm (길이) 입니다. TEL UL-2604-08-HS는 넓은 온도 범위 (최대 1,400 ° C) 와 저온 균일 한 ± 2.0 ° C (1 'c) 를 특징으로합니다. 온도 조절은 5.7 인치 컬러 디스플레이가있는 PLC (programmable logic controller) 를 통해 이루어집니다. 추가 기능으로는 열 플럭스 계산 (heat flux calculation) 을 사용한 프로세스 제어, 통합 분석기를 통한 현장 O2 제어, 컴퓨터 네트워크에 연결하는 통신 기능 등이 있습니다. 이 장치에는 온도 균일성과 프로세스 반복성을 보장하기 위해 고급 설계 (advanced design) 기능이 장착되어 있습니다. 히터의 고정밀도 저항 나선 열 랩 카트리지는 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 온보드 히터 팬은 반도체 웨이퍼 전체의 온도 분포를 최적화하는 데 도움이됩니다. 히터에 연결된 자동 공기 배플은 추가 온도 균일성과 일관된 프로세스 분배를 제공합니다. TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS 기계는 사용자 및 프로세스를 보호하는 고급 안전 기능도 제공합니다. 고온 제한 스위치는 난방 (heating chamber) 의 온도를 모니터링하는 데 사용됩니다. 난방기 (heater) 에서 하류 온도의 변동을 감지할 수 있으며, 위험한 작동 온도가 감지되면 자동으로 공구를 종료합니다. 자동 챔버 도어 잠금 (automatic chamber door lock) 은 프로세스 중에 챔버가 고정되도록 합니다. UL-2604-08-HS에는 통합 자동 도어 잠금 해제 에셋이 있습니다. 이 모델은 PLC 장비 또는 외부 제어를 통해 수동으로 트리거할 수 있습니다. 히터, 쿼츠 튜브 (quartz tube), 히터 팬, 온도 조절 기능이 포함된 단일 통합 패키지는 효율적이고 안정적인 확산 용광로 및 액세서리 시스템을 제공합니다.