판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226256

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS는 이상적인 확산 작업에 최적의 조건을 제공하도록 설계된 확산 용광로 및 관련 액세서리입니다. 이 장비 는 여러 가지 구성 요소 로 이루어져 있는데, 이 구성 요소 는 고도 의 정밀도 와 함께 작용 하여 "오븐 '을 조성 하여 원하는" 확산' 결과 를 위한 완전 한 환경 을 조성 한다. TEL UL-2604-08-HS에는 난방이있는 주 장치, 냉각실 및 일치하는 가스 공급 장치가 있습니다. 이 세 가지 구성 요소는 함께 작동하여 확산 작업에 대한 최적의 조건을 만듭니다. 난방은 안전하고 안정적인 성능을 제공하며 온도 범위는 100 ~ 1100 ° C입니다. 그것 은 "몰리브덴 '가열" 와이어' 로 구성 되어 있으며, 이 "와이어 '는 온도 를 정확 하게 조절 하고 약실 의 균일 한 온도 분포 를 유지 한다. 냉각 챔버 (cooling chamber) 는 -40 ~ 100 ° C의 광범위한 온도를 제공하며 챔버의 온도 관리를 돕기 위해 수직 식 서모 (thermo well) 가 장착되어 있습니다. "가스 '공급 장치 는 난방" 챔버' 로부터의 가열 된 공기 와 일치 한 연결 을 가지고 있어서, "가스 '를 확산 작업 에 필요 한 여러 가지" 가스' 와 결합 하여 사용 할 수 있다. 이 시스템에는 확산 동작 (diffusion operation) 의 여러 측면을 관리하기 위한 고급 다기능 제어 장치가 장착되어 있습니다. 온도 조절 기계는 PID 자동 튜닝을 제공하여 온도를 정확하고 빠르게 제어하도록 설계되었습니다. 압력 조절 도구 (pressure regulation tool) 는 공급 압력이 일관성 있게 유지되고 대기 제어 자산은 확산 작동에 대한 최적의 조건을 보장하기 위해 공정 챔버의 산소 수준을 모니터링하고 조정하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS는 진공 배기 및 냉각탑 공기 공급과 같은 다양한 다른 기능도 제공합니다. 또한 최대 3 개의 가스를 동시에 사용할 수 있으며, 사용자 경험을 더욱 향상시킵니다. 안전 기능 (Safety Function) 은 안전성을 보장하기 위해 압력과 온도를 검사하며, 이러한 조건이 충족되지 않으면 자동으로 작동을 중지합니다. UL-2604-08-HS는 완벽한 확산 작업을 위한 탁월한 올인원 모델입니다. 광범위한 온도, 정확한 제어 메커니즘 및 다기능 제어 장비를 제공합니다. 이 시스템은 컴팩트하고, 안정적이며, 고성능 확산 작업을 위해 설계되었습니다.