판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UHO-2505 #9112862

TEL/TOKYO ELECTRON UHO-2505는 특수 필름 증착 응용을 위해 설계된 확산 로입니다. 상하 개방형 뚜껑과 최대 온도 범위 (섭씨 1100도) 를 가진 수직 용광로입니다. 사각형 모양의 내부 석영 서스셉터 (susceptor) 를 장착하여 챔버 내부의 가열도 보장하고 외부 소스에서 오염을 방지합니다. 용광로에는 고성능 컨트롤러 (HPC) 가 장착되어 있으며, 사용자는 각 단계, 램프 속도, 기타 변수에 대한 온도 프로파일, 시간, 시간 등을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 작업을 모두 지원하므로 다양한 실험실 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템에는 정밀한 온도 조절과 압력과 온도의 지속적인 측정을위한 2 개의 독립적 인 PID 컨트롤러가 장착되어 있습니다. TEL UHO-2505의 내부 부분은 흑연 서셉터 트레이, 난방 요소 및 가스 처리 장비로 구성됩니다. 가열 요소는 낮은 열 구배를 유지하면서 용광로 챔버 (furnace chamber) 의 균일 한 온도를 보장하도록 설계되었습니다. 흑연 서셉터 트레이는 균일 한 온도 분배 및 효율적인 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON UHO-2505 용 액세서리에는 효율적인 가스 배기를위한 배기 팬 및 벤츄리 매니 폴드와 플라즈마 밀도를 제어하기위한 RF 임피던스 매칭 네트워크가 포함됩니다. 사용자는 배기선에 비례 밸브 (비례 valve) 를 설치하여 용광로 내부의 압력을 자동으로 제어할 수도 있습니다. UHO-2505 (UHO-2505) 는 신뢰할 수 있고 내구성이 뛰어난 확산 로로, 다양한 실험실 응용 분야에 적합합니다. 이 용광로 는 소형 "디자인 '덕분 에 여러 곳 에 설치 될 수 있으며, 쉽게 운반 할 수 있다. 고성능 컨트롤러와 온도 조절 (Temperature Control) 의 정확성으로 인해 용광로가 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 견고한 구성 및 액세서리를 통해 확산 용광로 응용 프로그램에 이상적인 선택이 됩니다.