판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M #293595800

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M은 TEL에서 설계 및 제조 한 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 확산 용광로는 박막 증착, 도핑, 드라이브 인 프로세스의 생산을 위해 설계되었으며, 고급 R&D 및 산업 박막 프로세스를위한 최고의 도구입니다. TEL TELINDY Plus-I-M 확산 용광로는 유도 결합 형 기술을 사용하여 최대 950 ° C의 균일 한 온도를 생성합니다. 이 확산 용광로는 또한 석영 유리 난방실 (quartz-glass heating chamber) 을 특징으로하여 매우 높은 온도로 작동 할 때 최대 안전성을 보장합니다. 최대 압력이 600 Torr인 TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M 확산 로는 모든 확산 구동 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 이 확산 로에는 자동 제어 장치 (Automatic Control Device) 가 장착되어 있어 각 프로세스를 안전하고 효율적으로 정확하게 예측할 수 있습니다. TELINDY Plus-I-M에는 가스 제어 장비, 가스 위상 반응기 공급 시스템, 온도 측정 장치, 진공 인버터 (vacuum inverter) 등 다양한 액세서리가 포함되어 있어 안정적인 처리 환경을 구축하는 데 도움이됩니다. 작동 중에 운영자를 안전하게 유지하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M은 외부 온도 초과 및 지상 결함 연동 기계를 특징으로하여 온도 또는 전기 이상 증가를 방지합니다. 또한 콜드 트랩 (cold-trap) 과 핫 트랩 (hot trap) 을 모두 제공하여 수집 효율성을 높이고 탁월한 안전 수준을 제공합니다. TEL TELINDY Plus-I-M 확산 로는 미세한 기능과 온도 균일성의 정밀 제어에 대한 최고의 생산 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 정밀하게 제어된 난방 및 냉각, 짧은 처리 시간, 탁월한 안전 기능으로, 이 확산은 고급 산업 박막 공정에서 일하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.