판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitride #9253033

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitride는 전자 장치 제조의 요구를 충족하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. Nitride 용광로는 질화물 물질을 퇴적시키는 데 사용되는 특수 혈장 보조 화학 증기 증착 (PECVD) 도구입니다. 한 번에 3 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 1050 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 용광로에는 HL-UT 처리 챔버가 장착되어 있으며, 수직 또는 수평 처리를 허용하도록 조정 할 수 있습니다. 또한 상부 및 하부 가스 공급 채널 (gas supply channel) 이 장착되어 있으며, 용광로를 표준 및 고온 산화 프로세스에 모두 사용할 수 있습니다. 니트라이드 퍼니스 (Nitride furnace) 에는 지능형 로직 시스템이 장착되어 있는데, 이를 통해 자체 모니터링이 가능하며, 오류를 감지하면 자동으로 장애를 감지하고, 종료할 수 있습니다. 또한 사용자에게 4 단계 운영 모드가 있으며, 응용 프로그램의 요구 사항에 따라 3 개의 사전 프로그래밍 된 증착 모드 중 하나를 선택할 수 있습니다. Nitride 퍼니스에는 RS-232 직렬 인터페이스 (Serial Interface) 가 장착되어 있어 프로세스 매개변수 모니터링 및 제어를 위해 호환 가능한 컴퓨터 시스템에 연결할 수 있습니다. 또한, 조정 가능한 기능으로 최대 24 개의 레시피를 저장할 수 있으며, 다른 프로세스에 대해 다른 프로세스 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 니트라이드 (Nitride) 퍼니스에는 강력한 쿼츠 램프가 장착되어 있으며, 펄스당 최대 1200mJ를 제공 할 수 있으며 차폐 시트로 보호됩니다. 이 램프는 화학 증기 증착 (chemical vapor deposition) 및 스퍼터링 (sputtering) 과 같은 다양한 증착 공정에 사용됩니다. 또한 수년 동안 지속되도록 설계되었으며, 수명은 20,000 시간입니다. "니트라이드 '용광로 는" 가스' 탐지기 와 연산자 의 안전 을 보장 하기 위하여 연결 끊기 "스위치 '를 제공 하여 높은" 레벨' 의 안전 을 제공 하도록 설계 되었다. 또한 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼을 사용하여 용광로를 빠르고 안전하게 차단할 수 있습니다. 또한 "니트라이드 '에는" 챔버' 의 온도 를 신속 히 낮추는 냉각 장치 가 있어서, 그것 을 개방 하고 가공 한 후 에 가공 된 "웨이퍼 '를 꺼낸다. 전반적으로 TEL TELFORMULA Nitride는 강력하고 신뢰할 수있는 확산 로이며, 이는 전자 기기 제조에 완벽한 선택입니다. 작동이 쉽고, 프로세스 매개변수를 유연하게 제어할 수 있으며, 안전하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다.