판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SD-910-3YN #9131946

TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YN은 고성능 반도체 생산 응용 분야에 사용하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 확산, 산화, 어닐링, 증발 등 다양한 생산 공정에 사용하기에 적합합니다 (확산, 산화, 어닐링, 증발 등). TEL SD-910-3YN은 견고한 스테인리스 (stainless) 스틸 챔버로 구성되어 내구성과 유지 보수가 용이합니다. 또한 자동 온도 조절 (Automatic Temperature Control) 기능을 갖춘 고급 공정 제어 장비를 통해 정밀하고 재현 가능한 난방 및 냉각 온도를 제공합니다. 이 시스템은 또한 표적 (target) 샘플의 안정적인 가스 제어, 균일 한 난방 및 냉각을 유지하기 위해 기체 유속 (gas flow rate) 을 감지하고 조정 할 수있는 대기 제어 펌프를 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON SD-910-3YN은 오염 방지 설계를 사용하여 작동 중 입자 생성을 최소화합니다. 이것은 가열 된 합금 가스 분사 챔버 및 수냉식 공기/가스 스크러빙 장치 (water cooled air/gas scrubbing unit) 를 사용하여 달성됩니다. 통합 된 항 범핑 노즐 (anti-bumping nozzle) 은 챔버 내에서 열 균일성을 보장하며, 핫스팟 또는 냉각 불규칙성을 제거하며, 특히 어닐링과 같은 어려운 프로세스 반응에 중요합니다. SD-910-3YN에는 에칭 (etching) 및 기타 스퍼터링 프로세스 동안 레이어 두께를 정확하게 제어하기 위해 강력한 모터 드라이브가 장착되어 있습니다. 이는 닫힌 루프 제어 머신 (closed-loop control machine) 을 사용하여 증착/식각 속도를 제어하여 레이어 두께를 미세 조정함으로써 달성됩니다. 또한, 전압을 모니터링하고, 전원 출력을 적절히 제어하여 안전한 작동을 보장하는 고급 전기 안전 도구 (Advanced Electrical Safety Tool) 를 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YN은 또한 사용자 친화적 인 인터페이스를 사용하여 설계되어, 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있습니다. 맞춤형 아키텍처 및 자동 레시피 로딩 옵션을 통해 반도체 업계의 생산 프로세스에 유용한 툴인 이 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 를 사용할 수 있습니다. TEL SD-910-3YN (TEL SD-910-3YN) 은 제조 프로세스를 간소화하여 전체 프로세스의 효율성과 신뢰성을 향상시키는 데 도움이 되는 다용도, 신뢰성 있는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 첨단 기능과 견고한 디자인으로, 고성능 반도체 생산을 위한 귀중한 도구입니다.