판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NT333 #9298715

TEL/TOKYO ELECTRON NT333은 고성능 통합 회로를 제작하기 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 정교한 열역학적 제어와 고급 설계 덕분에 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다 (영문). TEL NT-333은 대부분의 생산 라인에 쉽게 장착 할 수있는 경량, 로우 프로파일 시스템입니다. 최대 온도는 1,150 ° C이며, 다양한 웨이퍼 및 구성 요소를 미리 가열, 소결 및 anneal하는 데 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON NT 333은 효율적이고 정확한 온도 제어를 제공하는 고급 프로세스 제어 장치 (process control unit) 및 자동 레시피 관리 머신을 갖추고 있습니다. 고급 데이터 수집 툴 (Advanced Data Acquisition Tool) 을 통해 프로세스를 포괄적으로 파악하여 신속한 디버깅 및 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON NT-333에는 최대 정밀도 및 응답을 위해 온도, 압력, 습도 등을 포함한 다양한 센서가 제공됩니다. 자산에는 이중 구역, IR 형 전기 난방 모델도 장착되어 있습니다. 전기 난방 장비 에 의해 생성 되는 열 의 종류 는 도펀트 (dopant) 와 확산 과정 을 활성화 시키는 데 극히 효과적 이다. 두 영역 (zone) 은 서로 다른 컴포넌트를 일제히 가열하여 전체 프로세스 전체에서 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON NT 333은 또한 가열 후 구성 요소의 효율적인 냉각을 보장하도록 설계된 고품질 환기 시스템을 자랑합니다. 통합 가스 순환 장치 (gas circulation unit) 를 사용하여 기계는 구성 요소를 빠르고 균등하게 냉각시켜 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한이 도구에는 개선 된 수율의 오염을 줄이기 위해 설계된 고급 가스 여과 자산 (advanced gas filtration asset) 이 있습니다. NT333은 집적 회로 생산을 위해 설계된 최첨단 모델입니다. 정교한 설계와 탁월한 프로세스 제어 기능을 통해 고성능 (HPC) 구성요소를 생산할 수 있습니다.