판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON M560A #293597892

TEL/TOKYO ELECTRON M560A는 반도체 장치 제조를위한 고급 확산 로와 액세서리입니다. 이 혁신적인 장비는 고성능, 최고 효율, 최고 온도 균일성을 위해 설계되어 나노 와이어 (nanowire) 와 같은 복잡한 구조물을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 용광로 챔버와 함께 제공되는 액세서리 세트 (예: 진공/냉각 챔버, 쿼츠 플레이트, 서셉터, 웨이퍼 홀더 및 압력 센서) 로 구성됩니다. 용광로 챔버에는 두 개의 섹션이 있습니다. 상단 부분에는 온도 균일성을 높이기 위해 하향식 (top-down) 방사선 가열을 제공하는 가열 요소, 열전대 및 거울이 있습니다. 하부 섹션은 가스 입구, 펌핑 장치 및 온도 센서로 구성됩니다. 이를 통해 장비는 독립적 인 온도 설정 (temperature settings) 을 정확하게 측정하고 유지하고 밀봉된 환경에서 추가 열 제어 (thermal control) 를 제공 할 수 있습니다. 동반 액세서리는 높은 열 충격 저항과 장기 안정성을 보장하기 위해 석영으로 만들어졌습니다. "쿼츠 '판 은" 샘플' 을 배치 하는 기초 역할 을 하고 "서셉터 '는 가열 지대 를 가로질러" 샘플' 을 운반 한다. 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 조정 가능한 스프링 장력으로 웨이퍼를위한 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 압력 센서는 시스템이 균일 한 가스 분포에 대한 최적의 압력을 유지하도록 도와줍니다. TEL M560A는 하향식 및 하향식 방사선 가열을 모두 결합하는 포괄적 인 가열 메커니즘을 채택합니다. 이 우수한 방법으로, 이 장치는 그 과정에서 전례없는 온도 균일성을 제공 할 수 있으며, 원하는 수준을 유지하기 위해 단 하나의 전원 공급 장치 설정 (setting) 만 필요합니다. 확산 용광로에는 공기냉각기가 내장되어 있어 완공 시 급속하게 샘플을 냉각시킬 수 있습니다 (영문). 안전성 측면에서, TOKYO ELECTRON M560A는 가장 높은 안전 및 운영 표준을 보장하기 위해 엄격한 지침을 따릅니다. 이 도구는 다양한 안전 인터 록 (Safety Interlock) 을 제공하여 과도한 온도와 도어 제어 (Door Control) 를 방지하여 예상치 못한 작동을 방지합니다. 또한, 혁신적인 수냉식 자산은 모델이 과열 (overheating) 되는 것을 방지하고 사용자에게 안전성을 더해줍니다. 전반적으로, M560A는 복잡한 반도체 장치 제조 작업에 탁월한 온도 균일성과 제어를 제공하는 고급 확산 로와 액세서리 (accessory) 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 정확성과 신뢰성, 정교한 안전 기능, 뛰어난 난방 장치를 제공합니다. 이 혁신적인 장비 (Innovative Equipment) 는 최고의 성능 수준을 제공하도록 설계되어, 제조업체가 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있게 해 줍니다.