판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9389914

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D는 반도체 공정 기술을 위해 설계된 아트 확산 로와 액세서리의 상태입니다. TEL IW-6D (TEL IW-6D) 는 열 산화 과정을 사용하여 도펀트를 웨이퍼로 확산시키는 데 사용되는 용광로입니다. 이 프로세스는 반도체 장치의 전기적 특성을 향상시키고, 고대형 (high-high-scale) 통합에 적합성을 높입니다. TOKYO ELECTRON IW-6D (TOKYO ELECTRON IW-6D) 는 지능형 PID 컨트롤러에 의해 제어되는 동위 원소 수소를 특징으로하여 프로세스 제어 및 반복 가능성을 최적화합니다. 이 용광로 에는 급속도 의 냉각 장치 (cooldown technology) 가 장착 되어 있어서, 단 몇 분 내 에 공정 을 완료 할 수 있다. 또한, IW-6D는 모듈 식 설계를 통해 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 와 같은 다른 프로세스에 쉽게 구성 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D에는 몇 가지 주요 액세서리가 장착되어 있어 확산 프로세스가 가능한 한 정확하고 안전하게 수행됩니다. 식히거나 제거하는 동안 확산 챔버를 차단하기 위해 자동 게이트 밸브가 제공됩니다. 이 용광로 에는 또한 "와퍼 '를" 챔버' 로 안전 하게 수송 하는 데 도가니 가 되는 석영 과 "챔버 '의 내부 온도 를 유지 하는 데 사용 할 수 있는 도자기" 펌프' 가 들어 있다. 이 장치는 질소 가스 퍼지 (nitrogen gas purge) 와 같은 안전 기능을 갖추고 있으며, 이는 장기 공정을 오염으로부터 보호하기 위해 설계되었습니다. 또한, TEL IW-6D에는 안전 추가를위한 통합 비상 차단 스위치와 확산 후 용광로 냉각을위한 외부 급수/드레인 (Drain) 연결이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON IW-6D는 반도체 장치 생산에 필수적인 장치입니다. 이 제품은 정확하고 안전한 확산 프로세스를 보장하며, 모듈식 (modular) 설계는 다양한 애플리케이션에 필요한 유연성을 제공합니다. 이 장치의 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 구조와 내구성 있는 부품은 안정적이고 효율적인 확산 로입니다.