판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9148336

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D 확산 로는 실리콘 웨이퍼의 고정밀 확산 처리가 필요한 응용 분야에 사용되는 고효율적이고 정밀한 열 처리 장치입니다. 이 기술적으로 향상된 확산은 단일 단계 수직 PECVD 챔버와 독특한 2 단계 난방 설계를 사용하여 효율적인 저압 프로세스 성능을 제공합니다. 즉, 확산 과정에서 온도 프로파일 (temperature profile) 을 지속적으로 조정하여 원치 않는 에칭을 줄이고 뛰어난 균일성과 생성 속도를 제공합니다. 정확하게 설계된 열역학 및 조절 가능한 히터 근접성은 탁월한 온도 조절 및 균일성을 제공합니다. TEL IW-6D 확산 로에는 제조 및 미션 크리티컬 어플리케이션을 염두에 두고 설계된 고급 초고순도 도어 (purity door) 어셈블리가 제공됩니다. 이 효과적인 도어 시스템에는 산소 주입 포트, 더미 웨이퍼 (dummy wafer) 및 다중 밸브 (anti-backing) 와 같은 구성 요소 배열이 장착되어 있어 사용량이 많고 프로세스 전환이 빠릅니다. TOKYO ELECTRON IW-6D 확산 로에는 기술자가 프로세스를 쉽고 빠르게 모니터링할 수 있도록 실시간 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 확산 로 (diffusion furnace) 의 데이터를 제어하고 고객의 요구 사항에 따라 다양한 사전 설정된 레시피를 통합할 수 있습니다. IW-6D 확산 용광로는 또한 극도의 안전성과 신뢰성으로 작동합니다. 화재 탐지기 (Fire Detector) 와 진동 센서 (Vibration Sensor) 와 같은 다양한 안전 센서가 특징이며, 둘 다 장치가 원활하게 작동하는지 확인합니다. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D 확산 로는 또한 프로세스를 방해 할 수있는 내부 또는 외부 충격 또는 진동으로부터 보호됩니다. 또한, TEL IW-6D 확산 로는 대량 생산 응용 프로그램과 소규모 웨이퍼 처리 및 표면 처리를 처리 할 수 있습니다. 퍼니스는 직경 200mm ~ 길이 5 인치 범위의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 도쿄 전자 IW-6D (TOKYO ELECTRON IW-6D) 확산 로는 장치와 함께 사용할 수있는 교환 가능한 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 의 도움으로 다양한 유형과 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. IW-6D 확산 로는 효율적이고 정확한 확산 프로세스를 제공하여 우수한 결과를 제공합니다. 첨단 기술과 안전 (Safety) 기능을 통해 다양한 산업 분야에 이상적입니다. 이 확산 로는 매우 안정적이고 비용 효율적이며, 규소 웨이퍼의 고정밀 확산 처리가 필요한 모든 사람에게 완벽한 선택입니다.