판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798922

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D는 고성능 확산 프로세스를 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 3 개의 영역이 있는 200mm x 300mm 수직 히터 문자열 (위에서 세로로 조정 가능) 은 최대 3 개의 웨이퍼에서 동시에 균일 한 온도 제어를 제공합니다. 용광로 전체의 낮은 열 구배는 고품질 레이어 형성과 낮은 승화 Cl 속도를 가능하게하며, TEL IW-6D의 열 방출 특성 (thermal-emission characteric) 은 공정에서 웨이퍼의 높은 처리량을 보장합니다. TOKYO ELECTRON IW-6D에는 조정 가능한 역압, 가스 순도, 가스 분포, 가스 유속 및 가스 압력을 포함한 일반적인 공정 시뮬레이션 기능이 장착되어 있습니다. 가스 분석 시스템은 IW-6D (IW-6D) 와 통합되어 온라인 프로세스 검토 및 조정에 대한 실시간 분석 및 수집 후 오프라인 프로세스 분석을 제공합니다. 균일 한 가스 분포를위한 조절 가능한 가스 입구 소용돌이 장치 (gas inlet-swirl device) 와 최적의 프로세스 제어를 위해 조절 가능한 후압 조절기 (back-pressure regulator) 가 있습니다. 또한, TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D (TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D) 는 조정 가능한 램프 속도로 설계되어 세트 포인트 간의 빠른 온도 조사와 냉각 구역을 통해 낮은 속도로 제어되어 과열 적재 시간을 통한 웨이퍼 분해를 방지합니다. 또한 여러 H- 모드 히터를 사용하여 균일 한 열 구배를 제공합니다. 이러한 모든 기능은 TEL IW-6D의 고품질 및 동급 최고 성능에 기여합니다. 또한 TOKYO ELECTRON IW-6D (TOKYO ELECTRON IW-6D) 는 프로세스 챔버에서 다양한 설계 규칙을 재현하고 중요한 프로세스를 완벽하게 재현 할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 컨트롤러 (Automated Process Controller) 는 반도체 업계에서 필요한 기술 및 반복 가능한 방식으로 다양한 설계 규칙을 재현하는 기능을 제공합니다. 또한 IW-6D 는 통합 쿼츠 뷰포트 (quartz viewport) 및 웨이퍼 정렬 도어 (wafer alignment door) 를 갖추고 있어 정렬을 확인하고 프로세스 조건을 확인할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D (TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D) 는 이더넷 모니터링 서비스를 통해 다양한 프로세스 및 툴 모니터링 기능을 제공하여 사용자 사이트의 보안 원격 서비스 및 제어를 지원합니다. 이 지원에는 진단, 로컬 표시기 디스플레이, 하드웨어, 소프트웨어 모니터 및 제어가 포함됩니다. 마지막으로, TEL IW-6D에는 안전 연동 및 긴급 종료와 같은 안전 기능이 제공됩니다. 안전 정보는 볼 수 있으며 필요할 때 원활하게 작동할 수 있습니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON IW-6D는 높은 처리량, 고품질 레이어 형성 및 반복 가능한 고성능 프로세스를 제공하기 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 뛰어난 프로세스 시뮬레이션 기능, 조절 가능한 램프 속도, 낮은 열 구배, 가스 분석 시스템, 자동화 된 프로세스 컨트롤러, 통합 쿼츠 뷰 포트, 안정적이고 일관된 작동을 위한 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이것은 뛰어난 레이어 형성과 최고의 반복성이 필요한 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.