판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798920

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D는 고급 반도체 장치의 통합 생산을 위해 설계된 확산 로와 관련 액세서리입니다. 기본 장비는 확산 로 (diffusion furnace) 와 컨트롤러 캐비닛 (controller cabine) 으로 구성되며, 이 캐비닛은 다양한 고급 생산 요구에 유연성을 제공합니다. 확산 로에는 가공소재 전송 로봇 (workpiece transfer robot) 이 장착되어 있어 여러 웨이퍼의 동시 전송 및 처리가 가능합니다. 다양한 단일/다중 단계 프로세스 레시피를 지원하여 여러 단계에 걸쳐 광범위한 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 장치를 생산할 수 있습니다. 가공소재 챔버 (Workpiece Chamber) 에는 가공소재 온도에 관계없이 뜨거운 벽 영역과 차가운 벽 영역 (Cold Wall Area) 이 포함되며, 최적의 공정 성능을 위해 챔버 전체에 깨끗하고 균일 한 온도 분포를 제공하도록 설계되었습니다. 시스템의 지능형 로봇은 빠른 웨이퍼 전송 및 완전한 자동 프로세스 시퀀스 제어를 허용합니다. TEL IW-6D에는 프로세스 최적화 및 균일성을 위해 최신 컴퓨터 지원 제어 장치가 장착되어 있습니다. 여기에는 사전 설정된 프로그램을위한 메모리, 다양한 센서, 경보, 종료 스위치, 고도의 작동 안전성을 위한 장애 안전 (fail-safe) 메커니즘이 포함됩니다. 또한, 퍼니스에는 가스 흐름 믹서, 진공 기계 및 공랭식 공구 (air-cooling tool) 가 장착되어 공정 챔버 전반에 걸쳐 가스의 효과적인 분포를 보장합니다. TOKYO ELECTRON IW-6D의 최대 온도는 2,000C이며, 최신 금속 건설 기술을 사용하여 제작되었습니다. 진공 조임이며 확산 프로세스에 사용되는 고온을 견딜 수 있도록 제작되었습니다. 이 자산에는 매우 신뢰할 수있는 수평 단일 셔터 냉각기 (single-shutter cooling model) 가 장착되어 있는데, 이 모델은 정확하게 제어되고 안전한 질소 플러싱 (flushing) 메커니즘을 통합하여 비상 사태가 발생할 경우 장비를 신속하게 차단합니다. 확산로 (diffusion furnace) 는 다른 프로세스 레시피를 처리 할 수 있으므로 광범위한 확산 프로세스에 적합합니다. 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 프로세스 매개변수를 매우 유연하게 설정할 수 있습니다. 제어 시스템은 원격 작업 (Remote Operation) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능도 지원하므로 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있고 수작업 (Manual Intervention) 의 필요성이 줄어듭니다. IW-6D는 우수하고 정확한 성능을 제공하는 고급 확산 용광로 및 액세서리 장치입니다. 고급 반도체 장치의 통합 생산에 이상적인 선택입니다.