판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798918

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D는 높은 수준의 생산성 및 장비 생산성을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 오늘날 반도체 업계의 대규모 생산량을 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 용광로에는 최대 6 "웨이퍼 용량의 알루미나 난로가 장착되어 있습니다. 히터 (heater) 및 기타 매개변수의 정확한 모니터링 및 제어를 위해 온도 제어 센서가 장착되어 있습니다. TEL IW-6D는 고품질의 고속 가열 요소를 사용하여 빠르게 도달 할 수있는 720 ° C 온도를 제공 할 수 있습니다. 고급 마이크로프로세서 컨트롤러 (microprocessor controller) 에 의해 프로세스의 안정성 및 반복성 (repeatability) 이 향상되어 생산 프로세스가 최적의 방식으로 수행되도록 보장됩니다. 용광로는 관내 압력 보상 (in-tube pressure compensation) 기능과 에피 택시 (epitaxy) 와 같은 반복 가능한 생산을 위해 프로그래밍 될 수있는 기능을 가지고 있습니다. "욕조 '는" 웨이퍼' 를 쉽게 추출 하고 교체 할 수 있도록 동력 이 있는 리프트 장비 에 부착 되어 있다. 이것 은 "알루미늄 '합금 으로 만든 진공" 벨로우' 에 의하여 이루어지며, 추출 경로 를 따라 일정한 압력 을 가하도록 설계 되었다. 자동 필터 경보 시스템 (automated filter alarm system) 은 필터가 진공 한계에 도달하면 사용자에게 알립니다. 컴퓨터의 컴퓨터 제어 프론트 엔드에는 터치 스크린 인터페이스 및 Siemens PLC 컨트롤이 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 관련 데이터를 입력하고 가스 배기 (gas exhaust), 가스 흐름 (gas flow) 또는 로드 압력 (load pressure) 과 같은 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 모든 기능 (function) 을 모니터와 통합하여 사용자는 원격으로 시스템의 상태를 확인할 수 있습니다. 원격 모니터링 및 제어 (Remote Monitoring and Control) 툴을 사용하면 자산의 제어 매개변수, 경보, 로그를 외부에서 액세스할 수 있습니다. 이는 다운타임을 줄일 뿐만 아니라, 안전하고 효과적인 '운영' 을 보장하는 유익한 기능입니다. 이 모델에는 I/O 신호 인터페이스가 장착되어 있어 다른 장비와의 통신이 용이합니다. 필요한 경우 사용자/프로그래밍 가능한 컨트롤러에서 다양한 유형의 경보 및 경고를 호출할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON IW-6D는 높은 수준의 처리를 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 탁월한 기능을 통해 운영 인력이 운영 비용을 절감하고 생산량을 늘릴 수 있습니다 (영문). 또한, 서비스 수명이 길어지면서, 제대로 유지되면 수년 동안 사용할 수 있습니다.