판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293587891

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D 확산 퍼니스는 고급 반도체 처리 및 장치 제조를위한 최첨단 솔루션입니다. TEL IW-6D (TEL IW-6D) 는 처리 영역에서 온도 및 열 균질성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 빠른 워밍업 (Warm-up), 쿨다운 (Cool-Down), 정확한 온도 조절 (Temperature Control) 등의 기능은이 장비를 매우 안정적이고 다용도로 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON IW-6D에는 최대 1,400 ° C의 챔버의 빠르고 균일 한 가열을 가능하게하도록 특별히 설계된 질소 밀봉 공정 챔버가 있습니다. 우수한 온도 성능은 온도 및 NF 확산을 정확하게 제어하고, 퍼니스는 또한 빠른 워밍업 (warm-up) 및 쿨다운 (cool-down) 을 제공합니다. 2 개의 속도 가열과 같은 기능을 통해 IW-6D는 정확한 온도 프로파일을 달성 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D는 에피 택시, 확산 및 열 산화를 포함한 다양한 공정 레시피를 수용 할 수 있습니다. 원활한 프로세스 설정 및 운영을 지원하는 사용자 친화적인 GUI TEL IW-6D에는 공정 챔버를 안전하게 모니터링하기 위한 고품질 안전 뷰어 (Safety Viewer) 및 긴급 스위치도 장착되어 있습니다. TEL은 TOKYO ELECTRON IW-6D 외에도 다양한 소재를 최적으로 처리하기위한 다양한 액세서리를 제공합니다. 여기에는 웨이퍼 냉각 공정의 균일성을 보장하기위한 웨이퍼, 서셉터 및 셔터 시스템이 포함됩니다. IWT 확산 로에는 효과적인 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 제공되어 제작 중 균일 한 웨이퍼 마운팅을 용이하게합니다. 고급 열 처리 솔루션으로서, IW-6D 는 안정성을 유지하면서 디바이스 크기를 크게 줄입니다. 가장 정밀도, 정확도를 염두에 두고 설계되었으며, 가장 작은 설치 공간에서 원하는 결과를 얻을 수 있는 효과적인 솔루션을 제공합니다 (영문). 기능, 온도, 액세서리가 모든 제조 공정에 이상적인 선택입니다.