판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #195915

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D는 고정밀 플라즈마 강화 화학 증착 (PECVD) 을 제공하기 위해 특별히 설계된 고급 확산 로이자 액세서리입니다. TEL IW-6D는 특수 스테인리스 스틸 진공실과 유연하게 구성 가능한 음극 및 가스 전달 시스템을 갖춘 강력한 플라즈마 소스로 구성됩니다. TOKYO ELECTRON IW-6D는 2.6 인치 x 12.5 인치 길이의 monocrystal 쿼츠 튜브 진공실을 특징으로합니다. 튜브 챔버는 2 개의 반 원통형 환기 티타늄 하우징과 2 개의 플랜지로 구성되며, 각각 O 링으로 봉인 된 4 개의 dowel 핀이 있습니다. 석영 "튜브 '는 전기적 으로 전도성 이 있으며" 알루미늄' 으로 코팅 되어 "튜브 '벽 을 따라 방주 를 한다. 또한, 튜브는 알루미늄 블록의 이중 층으로 둘러싸여 있으며, 균일 한 열주기 최적화를 위해 내장 된 히터를 포함합니다. IW-6D 는 수동으로 조절 가능한 (manually adjustable) 모드의 표준 RF 전원이 장착되어 있으므로 원하는 플라즈마 처리에 맞게 설정을 조정할 수 있습니다. 이 장치는 PECVD 처리 중에 플라즈마 형성을위한 총 30 킬로와트의 전력과 PID 온도 제어를 위해 18.6kW 3 세트를 제공합니다. 전원의 추가 기능으로는 TEL-GENLOW III 전원 공급 보드, 지지대 구조, 폐쇄 된 토치 전극 및 활성 수소 경보 장비가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D 가스 전달 시스템은 4 방향 가스 매니 폴드와 5 개의 가스 흐름 컨트롤러로 구성되어 있으므로 광범위한 가스를 플라즈마 처리에 배치 할 수 있습니다. 매니 폴드의 총 용량은 300 리터/분이며, 0 ~ 300 sccm 사이의 유량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 플라즈마 강화 증착 공정에 사용하기 위해 4 개의 세라믹 공정 가스를 전달하는 것을 지원합니다. 또한, TEL IW-6D 는 지원되는 프로세스 애플리케이션을 위한 다양한 고급 액세서리와 통합할 수 있는 기회를 제공합니다. 고급 옵션에는 특수 가스 쿨러, 자동 가스 믹싱 머신, 극저온 냉각 도구, 현장 분자 반응물 자산 및 자동 퍼지 모델이 포함됩니다. 사용자는 또한 데스크탑 리모콘 콘솔을 사용하여 TOKYO ELECTRON IW-6D (TOKYO ELECTRON IW-6D) 를 구성할 수 있으므로 안전한 거리에서 제어할 수 있습니다. 이 고도의 고급 정밀 확산 로와 액세서리는 신뢰할 수 있고, 견고하며, 사용자 친화적이며, 응용 연구 실험실에 이상적입니다. IW-6D (IW-6D) 는 단일 장치의 모든 중요한 플라즈마 처리 매개변수를 직접 제어하여 CVD, PECVD, 에칭, 증착 등을 포함한 광범위한 응용 프로그램을 다룰 수 있습니다. 다양한 고급 액세서리로 TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D (TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D) 를 사용자 정의하는 옵션이 추가된 것도 당연합니다.