판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C #9280805

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6C는 기판에서 금속 필름의 증착에 사용되는 최첨단 확산 로입니다. 이 제품은 표면 수정 (surface modification) 에서 필름 증착 (film deposition) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용됩니다. TEL IW-6C (TEL IW-6C) 에는 공정 챔버 (process chamber) 가 장착되어 있으며, 특히 챔버 내에서 우수한 온도 및 가스 흐름을 제공하는 데 중점을 둡니다. 이것은 기판 위로 균일 한 금속 필름을 퇴적시키는 데 완벽합니다. TOKYO ELECTRON IW 6C에는 저압 화학 증기 증착 (LPCVD) 및 고압 화학 증기 증착 (HPCVD) 기술이 모두 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 프로세스 (array of process) 를 수행할 수 있으므로 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 필름 증착의 균일성을 더욱 향상시키기 위해 IW 6C는 고정밀 Flow Control Valve를 갖습니다. 이 "밸브 '는" 가스' 흐름 을 조절 하여 균일 한 유속 을 보장 하는데 사용 되는데, 이것 은 "필름 '증착 에 필수적 이다. "가스 '의 정확 한 농도 를 보장 하고" 필름' 에 결함 을 일으킬 수 있는 불순물 의 증착 을 방지 하기 때문 에 통합 된 "플로우 밸브 '도 유용 하다. TEL/TOKYO ELECTRON IW 6C는 또한 처리량을 향상시키는 데 유용한 고효율 기계 펌프를 가지고 있습니다. 이 펌프는 공정 챔버에서 잔류 가스를 효율적이고 빠르게 제거 할 수 있습니다. 이러 한 과정 은 증착 과정 이 균일 하게 진행 되고, 원료 의 수명 을 개선 시켜 준다. TOKYO ELECTRON IW-6C에는 성능과 기능을 향상시키는 여러 액세서리가 제공됩니다. 이러한 액세서리에는 자동 히터 제어 시스템 (automated heater control system) 과 직접 방사선으로부터 사용자를 보호하기 위한 자동 안전 셔터 (safety shutter) 가 포함됩니다. 또한, IW-6C 는 완전한 매개 변수 제어를 용이하게 하며, 자동 데이터 로깅 및 분석에 사용할 수 있는 고급 소프트웨어 패키지를 포함합니다. TEL IW 6C (TEL IW 6C) 는 금속 및 기타 물질의 박막을 기판 표면에 안정적으로 증착시키는 데 이상적입니다. 이 제품은 다양한 응용프로그램에 적합하며, 온도, 가스 흐름, 필름 증착 (film deposition) 의 균일성을 제공하여 다양한 프로세스에 적합합니다.