판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C #9148208

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6C는 주요 반도체 제조업체 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 개발 한 확산 로와 액세서리입니다. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) 및 TFT (Thin Film Transistor) 구성 요소에 사용되는 것을 포함하여 고급 프로세스 기술에 사용하도록 설계되었습니다. TEL IW-6C 확산 로와 액세소리는 예열 섹션, 주 섹션 및 냉각 섹션으로 구성됩니다. 용광로는 최대 온도 1,200 ° C에서 작동하도록 평가되었으며, 절연 및 6 구역 가열 요소는 챔버 내에서 온도 균일 성을 유지합니다. TOKYO ELECTRON IW 6C 확산 로에는 혁신적인 자동 재조정 장비가 있으며, 이 장비는 베이킹 과정에서 오븐 내부의 온도 균형을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 "시스템 '은 6 개 의 난방 요소 로부터 신호 를 계속 변환 하기 위해 자동적 으로 작동 하여 가공 하는" 웨이퍼' 에 효율적 이고 균일 한 열 전달 을 한다. 또한, 하이브리드 PID 제어 시퀀스 (Hybrid PID control sequence) 는 전체 프로세스 동안 장치의 온도 안정성이 세트 포인트의 0.1% 이내에 유지되도록 보장합니다. TOKYO ELECTRON IW-6C는 올 알루미늄 합금 프레임으로 구성되며, 내부 부품은 알루미나 섬유 (alumina fiber) 및 활력 탄소 (vitreous carbon) 와 같은 고급 재료로 만들어집니다. 용광로에는 모든 알루민화 된 스테인레스 스틸 방열판, 가스 분배기, 포틀레이트 (portplates) 가 있으며, 이는 전력 소비를 줄이고 전체 도구의 열 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 내장형 터치 패널은 뛰어난 프로세스 성능을 제공합니다. TEL IW 6C (TEL IW 6C) 는 모듈식 설계로, 사용자는 자동화된 기능과 더 나은 결과를 위해 자산을 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 다양한 원자로 시스템에 접속하여 성능, 다용도, 생산성을 높일 수 있습니다 (영문). 이 모델은 단상 (single-phase) 또는 이중상 (dual-phase) 모드로 작동하도록 설계되었으며 다양한 프로세스에 맞게 구성할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON은 확산 로와 액세서리 외에도 광범위한 지원 서비스와 액세서리 (accessory) 를 제공하여 시스템 생산성을 극대화합니다. 여기에는 교육, 서비스 및 유지 보수 계약, 소모품 부품 및 기타 주변 장치 구성 요소가 포함됩니다. 전반적으로, IW-6C 확산 광로 및 액세서리는 사용자에게 고급 프로세스 기술 요구를 위한 최적의 솔루션을 제공합니다. 고급 설계 (Advanced Design) 와 혁신적인 기능을 사용하면 높은 수준의 성능과 생산성을 얻을 수 있으며, 운영 비용을 절감할 수 있습니다.