판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226343

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6은 집적 회로 제작을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 그것 은 "실리콘 '" 웨이퍼' 의 노출 된 표면 에 물질 을 증착 시키기 위해 반도체 제조 공정 에 사용 되는 고급 도구 로서, 회로 특성 을 향상 시키기 위한 균일 한 "코우팅 '을 만들어 낸다. TEL IW-6 (TEL IW-6) 은 도펀트 분포에 직접 이온 이식 (direct ion implantation) 을 사용하는 확산 로로, 도펀트를 전체 웨이퍼를 통해 확산시키는 대신 웨이퍼 표면에 직접 배치하는 이온 임플란트 형태입니다. 고온 챔버 (high-temper chamber) 를 활용하여 도펀트를 웨이퍼 표면에 전달하는 이상적인 환경을 만듭니다. TOKYO ELECTRON IW-6 (TOKYO ELECTRON IW-6) 은 개방형 구성을 갖추고 있어 개별 도펀트의 위치와 깊이를 더욱 균일하게 제어할 수 있습니다. 퍼니스에는 롱 라인 오븐, 열 교환기, 유도 히터 및 기타 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 장선 오븐은 용광로 외부를 가열하고, 열 교환기 (heat exchanger) 는 작동 실 내부에서 고온을 유지합니다. 유도 히터에는 2 개의 코일 (coil) 이 포함되어 있으며, 이는 오븐 내부를 가열하기 위해 전자기장을 만듭니다. 또한, 용광로에는 여러 개의 가스 라인이 장착되어 있으므로, 다른 가스를 챔버에 주입 할 수 있습니다. IW-6은 매우 정확한 도핑 프로세스를 할 수 있습니다. 이 제품은 PID 컨트롤러 (PID Controller) 를 갖추고 있으며, 이 컨트롤러를 통해 작업실 내 온도와 고급 컴퓨터 제어 장비 (Computer Control Equipment) 를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 자동화된 수동 (manual) 운영 모드를 제공하여 프로세스를 빠르고 효율적으로 최적화할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 용광로 에는 진공 측정 장치 (vacuum measurement unit) 가 장착 되어 있어서, 약실 내 의 압력 을 감시 하고, 가장 좋은 결과 를 얻을 수 있다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON IW-6은 안정적이고 다재다능한 확산 로와 액세서리로, 집적 회로 제작에 적합합니다. 기온 조절 (tight temperature control) 과 고급 컴퓨터 제어 장치 (advanced computer control machine) 의 장점으로 매우 정확한 도펀트 분배를 만들어 반도체 산업을 위한 강력한 도구입니다.