판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226342

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6은 반도체 웨이퍼 처리를 돕기 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 확산 로에는 열 균일성 및 낮은 열 구배를 개선 할 수있는 2 차 존 (zone) 디자인이 있습니다. 확산 과정에서 가스의 흐름을 제어하기 위해 6 개의 입구가있는 부착 된 가스 패널이 있습니다. 퍼니스에는 온도 조절 라인 체인저와 자동 로드 잠금 (옵션) 이 있습니다. 이 장비는 2 개의 이중 요소 히터와 저열 구배 가열 챔버 (low-thermal-gradient heating chamber) 를 사용하여 균일 한 온도 프로파일을 제공합니다. 4 차 난방 시스템은 열 구배를 줄이기 위해 설계되었으며, 최대 온도는 1350 ° C입니다. 또한 필요할 때 빠른 냉각을 위해 냉각 장치를 갖추고 있습니다. 확산 로는 MOSFET 기반 램프 모듈로 구동되며 사용이 간편한 운영자 인터페이스를 사용하여 제어합니다. 이 용광로에는 확산 과정의 진행 상황을 측정하는 데 사용될 수있는 고정밀 데이터 획득 머신 (high-precision data acquisition machine) 이 포함되어 있습니다. 참조용으로 데이터를 저장할 수 있으며, 지속적으로 개선하기 위해 사용할 수 있습니다. 과열 또는 과도한 온도를 방지하기 위해 지연 난방 (delayed heating) 시동 및 자동 안전 차단 (automated safety shut-off) 과 같은 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 도구에는 원격 진단 기능을 갖춘 최신 제어 자산이 있습니다. 또한 프로세스 실패 시 활성화되는 fail-safe 보호 (fail-safe) 모델을 갖추고 있습니다. TEL IW-6 Diffusion Furnace는 반도체 확산을 수행하는 신뢰할 수있는 고성능 장치입니다. 많은 반도체 제작 시설을위한 선택 도구입니다. 온도 조절, 안전 기능, 데이터 획득 (data-acquacition) 기능을 통해 전자 부품을 처리할 수 있습니다.