판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9159178

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6은 칩 프로세스 및 생산을위한 확산 로입니다. 이 용광로는 쿼츠 라인 챔버와 고정밀 온도 조절 장비를 사용합니다. TEL IW-6은 산화물 스트레스 제거, LDD (Low Dielectric Diffusion), Copper Diffusion, SiGe Diffusion 등과 같은 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있기 때문에 다재다능합니다. TOKYO ELECTRON IW-6은 신뢰성이 높으며 우수한 온도 조절 시스템을 통해 높은 반복 성을 보장합니다. 여기에는 온도 설정 점을위한 프로그래밍 가능한 컨트롤러와 실제 설정 점 온도를 유지 및 조정하기위한 PRDN PID (Proportional-Integral-Derivative) 컨트롤러로 구성된 2 개의 독립 온도 컨트롤러가 있습니다. 이렇게 하면 컨트롤러가 매우 반응적이고 정확해집니다. 확산 로에는 쿼츠 라인 인테리어가 장착되어 있으며, 뚜껑에는 진공 봉인 (vacuum seal) 과 스테인레스 (stainless) 무게가 기본으로 제공됩니다. IW-6은 저압 (LP) 기술을 사용하여 안정적이고 안정적인 챔버 압력을 형성합니다. 또한, 저압 기술은 진공이 용광로 내부의 가스의 반응에 의해 형성되기 때문에 펌핑 장치 (pumping unit) 의 필요성을 제거합니다. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6은 전력 소비가 적고 수명이 긴 기계로 인해 환경 친화적입니다. 고온· 산소 고갈방지 기술로 과열을 막고 용광로의 수명을 늘린다. 고온· 산소 고갈방지 기술이다. 또한, 재생 가스 제거 도구를 사용하여 제거 가스 사용을 최대 30% 줄입니다. TEL IW-6은 대량 흐름 컨트롤러, 밸브, 서모커플, 원격 모니터링 장치 등 다양한 주변 장치를 지원합니다. 또한 VCM (Vacuum Controller Module) 과 PC 인터페이스 유닛이 함께 제공되어 유연성과 안정성이 향상되었습니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON IW-6은 쿼츠 라인 챔버, 견고한 온도 조절 자산 및 기타 다양한 부품을 갖춘 고정밀 확산 로입니다. IW-6 는 우수한 온도 조절 (temperature control) 과 장수명 (long life) 모델을 통해 칩 프로세스와 생산에 안전하고 안정적인 선택입니다.