판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381830

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 기판 처리 및 처리 기술의 최신 향상을 수용하도록 설계된 차세대 확산 로입니다. 이 제품은 프로세스 반복성을 모두 제공하며, 최고 품질의 디바이스 성능을 위해 향상된 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 기술로 TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 금속, 도자기, 반도체 및 복합재를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI에는 수직 및 수평 대류를 사용하는 2 개의 고급 용광로가 장착되어 있습니다. 수직로 (vertical furnace) 는 독립적으로 구동되는 컨베이어 롤러 (conveyor roller) 와 회전 액추에이터 (rotary actuator) 를 사용하여 웨이퍼를 최적의 확산 온도로 이동시키는 다중 축 시스템에 의해 구동됩니다. 수평로 는 "웨이퍼 '를 양 끝 으로부터 가열 된" 챔버' 로 끌어내어 방사선 과 대류 가열 을 정밀 하게 제어 한다. Indy Plus-B-MVCKNRRTXI 퍼니스에는 미술 Peltier 냉각 시스템의 상태가 표준으로 제공됩니다. 이것은 전체 웨이퍼 전체에서 균일 한 온도에 대한 프로브 전류를 조절하는 고급 이미지 처리 시스템 (Advanced Image Processing System) 을 특징으로합니다. 멀티 포인트 온도 프로브를 통해 TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 전체 웨이퍼에서 극한의 정밀도를 측정할 수 있으며 최대 4 개의 독립 온도 영역으로 작동 할 수 있습니다. 용광로는 사전 설정된 온도 프로파일에 프로세스를 수행하도록 프로그래밍 될 수도 있습니다. 또한 TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 사용자가 자체 난방 및 냉각 곡선을 정의 할 수있는 Active 온도 제어 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어에는 데이터 정확성과 반복성을 지속적으로 향상시키기 위한 자가 학습 (Self Learning) 알고리즘이 장착되어 있습니다. 또한 퍼니스의 자동 오류 처리 (automatic error handling) 기능을 통해 엔지니어가 모든 프로세스 오류를 신속하게 조정하거나 수정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 다양한 고급 액세서리에 의해 보완됩니다. 여기에는 간단한 샘플 처리 및 빠른 설치를 위한 자동화된 프로세스 레시피 (process recipe) 가 가능한 자동 캡처 베이가 포함됩니다. Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 또한 목표 최고 성능에 대한 압력, 온도 및 속도와 같은 프로그래밍 가능한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 확산 용광로의 정점입니다. 자동화된 컨트롤 (control) 과 정밀 전자 장치 (precision electronics) 를 통해 안정적인 성능과 정확한 측정치를 제공하며 설치와 작동도 용이합니다. 종합적인 "액세서리 (accessory) '를 통해 광범위한 프로젝트를 처리할 수 있어 효율성과 품질이 뛰어난 제작자에게 적합한" 투자 (investment)' 가 될 수 있다.