판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381827

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXI는 액세서리가있는 중간 수율 수직 확산 로입니다. 이 용광로는 고순도 반도체 재료를 만드는 데 사용될 수 있습니다. 반도체 생산, 특히 층 화합물 반도체에 사용됩니다. 대용량 웨이퍼 카세트, 고온 작동, 정확한 온도 및 압력 제어가 특징입니다. 장비에는 메인 챔버, 멀티 존 컨트롤러, 배기 시스템 및 다양한 액세서리가 포함됩니다. 주 챔버에는 난방 구역, 냉각 구역 및 관측 포트가 포함됩니다. 난방 장치 (heating zone) 는 한 번에 최대 150 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 자동 로더 장치를 사용하여 손쉽게로드 및 언로드를 할 수 있습니다. 가열대는 또한 빠른 질소 아닐링 (annealing) 을 제공하는데, 이는 반도체 재료에서 결정 구조를 만드는 데 사용됩니다. 냉각 구역에는 웨이퍼의 균일 한 냉각을위한 다양한 냉각 채널 (cooling channel) 이 있습니다. 다중 영역 컨트롤러는 각 영역의 온도, 압력, 유량을 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 사용자는 공정 가스 (process gase), 챔버 진공 (chamber vacuum) 및 퀸치 가스 (quench gas) 를 포함하여 용광로 내의 대기를 제어 할 수 있습니다. 또한 컨트롤러에는 사용자 정의 프로세스 제어를 위해 프로그래밍 가능한 레시피가 있습니다. 배기 장치 는 "메인 챔버 '뒷면 에 장착 되어 있으며, 공기 의 효율적 인 대피 와 교체 를 위한 자동" 펌프' 주기 를 제공 한다. 이 로 말미암아, 동강 내 의 대기압 을 정확 히 제어 할 수 있게 되고, 폭발 의 위험 을 감소 시키는 데 도움 이 된다. 또한, 배기 도구 (exhaust tool) 에는 공정 가스에서 오염 물질을 제거하기 위해 수명이 긴 필터와 스크러버가 장착되어 있습니다. TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXI 액세서리에는 다양한 쿼츠웨어, 열 코플, 멀티 밸브 장비 및 가스 패널이 포함됩니다. 석영 제품에는 석영 보트, 석영 실린더 및 석영 캡슐이 포함됩니다. 열전대 (thermocouple) 는 온도 측정에 사용되며 높은 수준의 정확도를 보장하기 위해 보정 될 수 있습니다. 멀티 밸브 장비는 챔버 내에서 대기를 제어하기위한 여러 밸브로 구성됩니다. 그리고 "가스 '" 패널' 은 정밀 한 "가스 '전달 및 조절 을 위한 여러 가지 수동" 밸브' 와 자동화 된 "밸브 '를 갖추고 있다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCNRRTXI 확산 로는 고순도 반도체 재료를 효율적이고 정확하게 만들 수있는 강력하고 정확한 자산입니다. 중소형 반도체 생산 시설에 적합한 선택입니다.