판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-M #9402239

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-M은 반도체 재료 제조를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 고효율 열 산화 및 이온 이식 시스템 (ion implantation system) 을 모두 갖춘 단일 웨이퍼 확산 로로, 대형 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 확산 로 (diffusion furnace) 는 정밀한 온도 및 압력 조절을 제공하여 확산 과정을 정확하게 제어 할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 자동 조정 기능 (auto-tuning function) 이 장착되어 있어 필요한 매개변수를 정확하게 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. TEL Formula-1S-M은 또한 고효율 웨이퍼 전송 모터와 고효율 수냉식 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 새로 가공된 웨이퍼를 신속하게 냉각시킬 수 있습니다. 온도의 범위 (최대 2,500 ° C) 에서 작동 할 수 있으므로 빠른 공정 시간 (process time) 을 위해 높은 온도를 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 균일성 제어 (unifority control) 를 특징으로하며, 트랙 마운트 및 비 트랙 마운트 웨이퍼 크기와 호환됩니다. TOKYO ELECTRON Formula-1S-M 확산 로에는 여러 개의 오븐이없는 공정 챔버도 포함되어 있으며 독립적으로 제어됩니다. 이를 통해 웨이퍼 전체에 대한 정확한 제어 및 균일성이 가능합니다. 이중 초점 스캔 전자 현미경 (SEM) 이 장착되어 있으므로 프로세스를 실시간으로 확인할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 안정성과 반복성을 제공하도록 설계되어 확산 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. Formula-1S-M 확산 로는 교류 (AC) 전압 및 전력에서 작동하도록 설계되었습니다. 입력 전압 범위는 190 ~ 255 볼트이며 최대 전력은 약 200 암페어입니다. 용광로에는 인슐레이션 모니터링 장치 (insulation monitoring device) 와 온도가 높은 차단 회로 (over-temperature cut-off circuit) 를 포함한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-M 확산 로는 반도체 재료 제조에 안정적이고 효율적인 기계입니다. 최상의 성능을 위해 고급 자동 튜닝 기능과 결합된 높은 수준의 정확도, 제어 및 프로세스 반복성 (repeatability) 을 제공합니다. 또한, 보안 작동을 위한 다양한 안전 기능이 제공되며, 트랙 마운트 (track-mounted) 및 비트랙 마운트 (non-track-mounted) 웨이퍼와 함께 사용하도록 설계되었습니다.