판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha #293792041

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha는 반도체 산업의 다양한 응용 분야를 위해 설계된 확산 로와 관련 액세서리입니다. TEL 알파 (Alpha) 모델은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 최대 섭씨 1200도의 두 가지 크기로 제공됩니다. 고품질 에피 택시 (epitaxy) 를 위해 설계되었으며, 고급 온도 균일성과 제어성을 갖추고 있어 고성능 반복 기능을 제공합니다. 도쿄 전자 알파 (TOKYO ELECTRON Alpha) 모델은 강력한 프로세스 제어 장비를 제공하여 균등하고 반복 가능한 가스 분배를 보장합니다. 이 강력한 프로세스 제어 시스템은 사용자에게 친숙한 PCB 설계 및 작동도 제공합니다. 첨단 공정 가스 배달 (Advanced Process Gas Delivery) 이 장착되어 있어 부드럽고 정밀한 가스 교환 및 복잡한 응용 분야에 대한 레시피 최적화가 가능합니다. 진공 상태에서 웨이퍼를 로드 및 언로드하기위한 옵션의로드 로커 (load locker) 가 있습니다. 알파 모델에는 스텝 보트 (바구니) 기능이 기본으로 제공되며, 이는 마취 과정에 효과적인 도구입니다. 바스켓 (basket) 의 온도를 추적하고 제어하는 피드백 (feedback) 장치가 있어 정확한 온도 범위를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 모델에는 청소, 베이크웨어 또는 설정 가능한 히터 교체, in-situ 프로세스 측정, 분석 및/또는 제어용 등 정기적 인 유지 보수를위한 고급 자동화가 장착되어 있습니다. 안전 측면에서 텔 알파 (TEL Alpha) 모델은 높은 전력 가열 요구를 견딜 수 있도록 제작되었으며 방사선 안전성을 보장하기 위해 초박형 진공실 벽으로 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 모델에는 고급 난방 성능 고급 측정, 분석, 자동화 시스템이 포함되어 있어 안전 기준이 충족됩니다. 알파 (Alpha) 모델에는 광학 검사 영역이 있어 용광로를 열지 않고 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 고급 모션 트래킹 머신 (advanced motion tracking machine) 이 장착되어 있으며, 프로세싱 챔버에서 미세한 모션 변경을 추적 할 수 있습니다. 말할 것도없이, 그것은 현장 용접 도구와 함께 제공되는 로드 락 (load lock) 을 가진 몇 안되는 생산 모델 중 하나입니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Alpha는 고성능 확산 로와 액세서리 자산입니다. 빌더 친화적 인 디자인과 기능으로 인해 반도체 산업과 그 응용 분야에 매력적인 선택이되었습니다. 고급 온도 제어 및 고급 자동화를 통해 TEL 알파 (Alpha) 모델은 효율적이고 정확한 프로세스를 보장합니다. 방사선 차폐 (radiation shielding) 와 고급 모션 추적 (advanced motion tracking) 도 안전하고 신뢰할 수있는 모델입니다.