판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha DS10 #9381895

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA DS10은 광범위한 확산 프로세스를 수행 할 수있는 첨단 확산 로와 액세서리입니다. TEL Alpha DS10은 MOS 및 MEMS와 같은 실리콘, 화합물 및 고급 반도체 장치의 제작을 위해 설계되었습니다. 또한 높은 종횡비와 엇갈린 스루 웨이퍼 홀을 수용 할 수 있습니다. 용광로에는 효과적이고 균일 한 웨이퍼 처리를 위해 수평 셔틀과 RF 발전기 (Generator) 및 개선되고 안정적인 처리를 위해 가스 배달 장비 (Gas Delivery Equipment) 가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha DS10에는 확산 과정을 돕는 여러 구성 요소가 있습니다. 주요 구성 요소는 적외선 검출기, 석영 도가니, RF 생성기, 질량 흐름 컨트롤러, 가스 입구 및 진공 펌프입니다. 적외선 탐지기 (적외선 탐지기) 는 용광로 (용광로) 의 온도를 모니터링하여 용광로 (용광로) 가 특정 공정에 필요한 범위 내에 있는지 확인합니다. 석영 도가니 는 확산 과정 중 에 "웨이퍼 '를 붙이고, RF 발전기 는" 웨이퍼' 의 확산 을 돕는다. Alpha DS10은 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 자동 "웨이퍼 '취급" 시스템' 은 시속 1000 개 의 "웨이퍼 '를 적재 하여 언로드 할 수 있다. 이 장치는 또한 이중 챔버 설계를 특징으로하며, 2 개의 다른 온도를 동시에 적용 할 수 있습니다. 기계는 또한 가스 보존 도구를 제공하여 최대 30% 의 전력 절전을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA DS10은 또한 운영자를위한 높은 수준의 안전 및 보안을 갖추고 있습니다. 용광로에는 고급 청소 장치와 안전 모니터링 자산이 장착되어 있습니다. '안전 모니터링 (Safety Monitoring)' 모델은 모든 필수 데이터 포인트가 모니터링되고 허용 가능한 운영 범위 내에 있는지 확인합니다. 이 퍼니스는 또한 챔버 (chamber) 및 분산 된 가스 흐름에서 균일 한 온도를 유지하도록 설계된 내부 순환 팬 (internal circulation fan) 을 특징으로하며, 방사성 광선, x- 레이, 이온화 방사선 및 고압 노출이 그에 따라 모니터링됩니다. 이 모든 기능은 장비가 효율적이고 안전하게 실행되도록 하는 데 초점을 맞추고 있습니다 (영문). 전반적으로 TEL Alpha DS10은 최첨단 반도체 제조를 위해 설계된 고성능, 정교한 확산 로이자 액세서리입니다. 확산 과정에서 높은 수준의 정확성, 반복성, 안정성 (Stability in the Diffusion Process) 을 제공하는 한편, 최고 수준의 안전성과 보안을 갖춘 운영자를 제공합니다.