판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293830601
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ID: 293830601
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2019
Furnace, 6"
Process: Poly
SECS/GEM
(5) Zones
CE Mark certified
System controller: WAVES
Temperature range: 500-1000°C
Temperature controller: 560-A
Front surface finish: White
O-Ring tube seal
Signal lamp tower
Gas leak detection
Wafer type: FLAT
Wafer handler type: 5 Fork
Fork material: Alumina
Stocker: 21 Carrier
Load size: 170
Transfer stage wafer position sensor
Fork wafer position sensor
MFC type: Horiba STEC
Pressure display units: MPA
Control pressure sensor: MKS 623B
Main valve heated lines
TORR and MPA Pressure display units
CKD-VEC-R Main valve
Cooling water connection: Bottom
Incoming gas connection: Top
Vacuum foreline: Bottom
Furnace exhaust connection: Top
Vent exhaust connection: Top
Gas unit exhaust connection: Top
Pressure relief drain: Bottom
Cabinet exhaust display units: TORR
Internal UPS
FUJI M-UPS GX100
Gas / MFC Model / Line / MFC Size
N2 / Aera / ¼” / 20 L
N2 / Aera / ¼” / 5 L x 5
SiH4 / Aera / ¼” / 500cc x 2
H2 / Aera / ¼” / 200cc x 3
0.5% BCl3/H2 / Aera / ¼” / 100cc x 3
Power supply: 120 V, 1Phase + 480 V, 3Phase
2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi는 반도체 장치의 대량 생산을 위해 설계된 최첨단 확산 용광로 장비입니다. 고도의 다용도 (Advanced and Versatile) 툴로, 확산 프로세스를 정확하게 제어하여 장치 성능 및 생산량을 높일 수 있습니다. TEL 알파 8SEi (Alpha 8SEi) 는 최첨단 기술과 혁신적인 기능을 갖추고 있어 전 세계 주요 반도체 제조업체에게 선호되는 제품입니다. 도쿄 전자 알파 8SEi (TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi) 의 주요 특징 중 하나는 독특한 수평로 설계로 실리콘 웨이퍼 표면에 도펀트 재료를 효율적이고 균일하게 확산 할 수 있습니다. 이 설계는 결함을 최소화하고, 웨이퍼 전반에 걸쳐 일관된 장치 특성을 보장하여, 생산량 및 전체 장치 성능을 향상시킵니다. 또한 수평 구성을 통해 손쉽게 웨이퍼를 로드/언로드하여 다운타임을 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다. 알파 8SEi (Alpha 8SEi) 는 다양한 공정 가스 및 도펀트 (dopant) 재료를 처리 할 수 있으므로 다양한 확산 응용 분야에 적합합니다. 최대 1200 ° C의 정확한 온도 제어 (temperate control) 기능을 통해 특정 장치 요구 사항에 맞게 확산 프로파일을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템에는 고급 가스 흐름 제어 (gas flow control) 메커니즘과 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기능이 장착되어 있어 안정적이고 반복 가능한 확산 결과를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi는 1 차 확산 로뿐만 아니라 다양한 액세서리와 옵션을 제공하여 성능과 다양성을 향상시킵니다. 이 액세서리에는 전용 가스 처리 장치, 컴퓨터 제어 인터페이스, 고급 웨이퍼 처리 메커니즘이 포함됩니다. 이 머신은 로봇 (robotic) 웨이퍼 전송 시스템 (wafer transfer system), 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 와 같은 다양한 자동화 솔루션과 통합되어 운영 워크플로를 더욱 간소화하고 전반적인 효율성을 향상시킬 수 있습니다. TEL Alpha 8SEi 는 안전성과 신뢰성에 중점을 두고 설계되었으며, 고급 안전 연동 장치, 과온 보호 장치, 종합적인 진단 툴을 갖추고 있습니다. 이 도구는 엄격한 품질 표준 (Quality Standard) 을 위해 제작되었으며, 대용량 생산 환경에서 내구성과 장기적인 신뢰성을 보장하기 위해 엄격한 테스트를 거칩니다. TEL은 종합적인 교육 및 지원 서비스를 제공하여 고객이 TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi 자산의 성능과 효율성을 극대화할 수 있도록 지원합니다. 전반적으로, Alpha 8SEi 확산 용광로 모델은 반도체 제조 응용 분야에 탁월한 정밀도, 안정성 및 다재다능성을 제공하는 최첨단 도구입니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi 는 혁신적인 설계, 고급 기능, 포괄적인 지원 서비스를 통해, 생산 공정에서 높은 수율, 탁월한 장치 성능, 운영 우수성을 얻고자 하는 반도체 제조업체에게 이상적인 선택입니다.
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